Invention Application

증착 장치
Abstract:
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 증착 원료가 수용된 도가니와, 상기 도가니 외측에 지지되는 히터 유닛과, 상기 히터 유닛의 외측에 지지되는 냉각 유닛을 포함하는 증발원; 상기 증발원이 수용되고, 증착 기판이 증착되는 증착 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되고, 상기 증발원의 전체 무게를 감지하는 무게측정장치; 및 상기 챔버 외부에 구비되고, 상기 무게측정장치와 신호를 송수신하는 제어부;를 포함한다.
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