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发明申请
WO2021131817A1 フッ素ガスの製造方法及びフッ素ガス製造装置 审中-公开

フッ素ガスの製造方法及びフッ素ガス製造装置
摘要：
ミストによる配管やバルブの閉塞を抑制することができるフッ素ガスの製造方法を提供する。電解槽内で電解液の電気分解を行う電解工程と、電気分解時に電解液の電気分解にともなって電解槽の内部の陽極の近傍で発生する音の強さを測定する音強さ測定工程と、電解液の電気分解時に電解槽の内部で生じた流体を電解槽の内部から外部へ流路を介して送る送気工程と、を備える方法によりフッ素ガスを製造する。送気工程においては、音強さ測定工程で測定された音の強さに応じて流体を流す流路を切り替え、音強さ測定工程で測定された音の強さが、予め設定された基準値以下である場合は、電解槽の内部から第１の外部へ流体を送る第１流路に流体を送り、予め設定された基準値よりも大きい場合は、電解槽の内部から第２の外部へ流体を送る第２流路に流体を送るようになっている。予め設定された基準値は１０ｄＢ以上６０ｄＢ以下である。
摘要（英）：

Provided is a fluorine gas manufacturing method that can suppress blockage of piping and valves by mist. Fluorine gas is manufactured by a method that comprises: an electrolysis step in which electrolysis of an electrolyte is performed in the interior of an electrolytic cell; a sound intensity measurement step in which the intensity of sound produced near an anode in the interior of the electrolytic cell is measured; and an air feed step in which a fluid produced in the interior of the electrolytic cell during electrolysis of the electrolyte is fed from the interior of the electrolytic cell to an external section via a channel. In the air feed step, the channel through which the fluid flows is switched in accordance with the intensity of the sound measured in the sound intensity measurement step. If the intensity of the sound measured in the sound intensity measurement step is at or below a reference value set in advance, the fluid is fed into a first channel through which the fluid is fed from the interior of the electrolytic cell to a first external section, and if the intensity of the sound is above the reference value set in advance, the fluid is fed into a second channel through which the fluid is fed from the interior of the electrolytic cell to a second external section. The reference value set in advance is in the range 10–60 dB.

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