Invention Application
- Patent Title: 質量分析装置および質量分析方法
- Patent Title (English): MASS SPECTROMETER AND MASS SPECTROMETRY METHOD
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Application No.: PCT/JP2020/044929Application Date: 2020-12-02
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Publication No.: WO2021157175A1Publication Date: 2021-08-12
- Inventor: 西元 琢真 , オン ジーハオ , 古矢 勇夫 , 任田 浩 , 橋本 雄一郎 , 杉山 益之
- Applicant: 株式会社日立ハイテク
- Applicant Address: 〒1056409 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号 Tokyo
- Assignee: 株式会社日立ハイテク
- Current Assignee: 株式会社日立ハイテク
- Current Assignee Address: 〒1056409 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号 Tokyo
- Agency: 特許業務法人筒井国際特許事務所
- Priority: JP2020-016216 2020-02-03
- Main IPC: H01J49/10
- IPC: H01J49/10 ; H01J49/26 ; G01N27/62
Abstract:
質量分析装置では、フレーム内部に夾雑物が堆積するなどの理由で、耐電圧が低下し、イオン源などにおいて放電が起き、これにより正常な測定ができなくなる場合がある。放電による異常測定の結果は、前処理部とニードルとの間のチューブの詰まりなどに起因する測定異常と分別がつかないため、異常箇所の特定に時間を要し、メンテナンス性が低下する問題がある。その手段として、ニードルに電圧を印加するイオン源電源とフレームとの間に直列に接続されたリターン電流検出部と、対向電極に電圧を印加する対向電極電源とフレームとの間に直列に接続されたリターン電流検出部とを設ける。リターン電流検出部で測定された電流と、予め定められた閾値とを比較することで、放電の発生および放電発生箇所を検出する。
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