質量分析装置および質量分析方法
Abstract:
質量分析装置では、フレーム内部に夾雑物が堆積するなどの理由で、耐電圧が低下し、イオン源などにおいて放電が起き、これにより正常な測定ができなくなる場合がある。放電による異常測定の結果は、前処理部とニードルとの間のチューブの詰まりなどに起因する測定異常と分別がつかないため、異常箇所の特定に時間を要し、メンテナンス性が低下する問題がある。その手段として、ニードルに電圧を印加するイオン源電源とフレームとの間に直列に接続されたリターン電流検出部と、対向電極に電圧を印加する対向電極電源とフレームとの間に直列に接続されたリターン電流検出部とを設ける。リターン電流検出部で測定された電流と、予め定められた閾値とを比較することで、放電の発生および放電発生箇所を検出する。
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