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发明申请
WO2022113490A1 成膜装置、および、成膜製品の製造方法 审中-公开

  • 专利标题： 成膜装置、および、成膜製品の製造方法
  • 专利标题（英）： FILM FORMATION DEVICE, AND PRODUCTION METHOD FOR FILM FORMATION PRODUCT
  • 申请号： PCT/JP2021/034295
    申请日： 2021-09-17
  • 公开(公告)号： WO2022113490A1
    公开(公告)日： 2022-06-02
  • 发明人: 今泉　由紀雄
  • 申请人： 豊実精工株式会社
  • 申请人地址： 〒5013303 岐阜県加茂郡富加町羽生２１４６番地２ Gifu
  • 专利权人： 豊実精工株式会社
  • 当前专利权人： 豊実精工株式会社
  • 当前专利权人地址： 〒5013303 岐阜県加茂郡富加町羽生２１４６番地２ Gifu
  • 代理机构： 山田　強
  • 优先权： JP2020-194075 2020-11-24
  • 主分类号： C23C24/04
  • IPC分类号： C23C24/04 ;  B05D1/02 ;  B05D3/00 ;  B05D7/24
成膜装置、および、成膜製品の製造方法
摘要：
成膜装置は、成膜チャンバ１０の処理室１２Ａ内に所定の間隔をもって配置され、エアロゾル化された微粒子を表面処理対象物に向けて吐出する複数個の吐出ノズル３２Ａ～３２Ｃと、相互間距離調整手段と、を備える。相互間距離調整手段は、複数個の吐出ノズル３２Ａ～３２Ｃの配列方向に対し略直交する方向に沿った各吐出ノズル３２Ａ～３２Ｃの吐出口面と、表面処理対象物における表面処理される表面との相互間距離を、表面処理対象物の形状に応じて調整する。
摘要（英）：

This film formation device is provided with: a plurality of discharge nozzles 32A-32C that are arranged apart from each other at a predetermined distance in a processing compartment 12A of a film formation chamber 10, and that discharge fine aerosolized particles toward a surface treatment object; and a mutual distance adjustment means. The mutual distance adjustment means adjusts, according to the shape of the surface treatment object, a mutual distance between the surface to be surface treated on the surface treatment object, and discharge opening surfaces of the discharge nozzles 32A-32C along a direction generally perpendicular to a direction in which the plurality of nozzles 32A-32C are arranged.

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