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发明申请
WO2022233711A1 VERFAHREN ZUM EINSCHREIBEN POLARISATIONSBEEINFLUSSENDER NANOSTRUKTUREN IN EIN TRANSPARENTES MATERIAL 审中-公开

VERFAHREN ZUM EINSCHREIBEN POLARISATIONSBEEINFLUSSENDER NANOSTRUKTUREN IN EIN TRANSPARENTES MATERIAL
摘要：
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einschreiben polarisationsbeeinflussenderNanostrukturen (13) in ein transparentes Material (5), umfassend die Schritte: Fokussiertes Einstrahlen mindestens eines ultrakurzen Laserpulses (3) in das transparente Material (5) als mindestens ein Initiierungspuls (3) zur Erzeugung vonNano-Wechselwirkungszonen (7) in einem Initiierungsfokusbereich (1) des Initiierungspulses (3) und fokussiertes Einstrahlen mindestens eines weiteren ultrakurzen Laserpulses (11) in das transparente Material (5) als mindestens ein Ausbildungspuls (11). Dabei umfasst ein Ausbildungsfokusbereich (9) des Ausbildungspulses (11) zumindest einen Teil der Nano-Wechselwirkungszonen (7) räumlich und aus den Nano-Wechselwirkungszonen (7) im Ausbildungsfokusbereich (9) bilden sich polarisationsbeeinflussende Nanostrukturen (13), die eine Doppelbrechung in dem transparenten Material (5) bewirken. Der mindestens eine Initiierungspuls (3) und der mindestens eine Ausbildungspuls (11) unterscheiden sich in mindestens einem Prozessparameter. Eine Ausrichtung (A) der Doppelbrechung in dem transparenten Material ist von einer Polarisation (EA) des mindestens einen Ausbildungspulses (11) abhängig.
摘要（英）：

The invention relates to a method for writing polarization-influencing nanostructures (13) into a transparent material (5), comprising the steps of: focused radiating of at least one ultrashort laser pulse (3) into the transparent material (5) as at least one initiation pulse (3) for producing nanoscale interaction zones (7) in an initiation focal range (1) of the initiation pulse (3) and focused radiating of at least one further ultrashort laser pulse (11) into the transparent material (5) as at least one formation pulse (11). In this case, a formation focal range (9) of the formation pulse (11) spatially comprises at least a portion of the nanoscale interaction zones (7) and polarization-influencing nanostructures (13) which bring about a birefringence in the transparent material (5) are formed in the formation focal range (9) from the nanoscale interaction zones (7). The at least one initiation pulse (3) and the at least one formation pulse (11) differ in terms of at least one process parameter. An alignment (A) of the birefringence in the transparent material depends on a polarization (EA) of the at least one formation pulse (11).

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