Invention Application
WO2022249624A1 質量分析装置
审中-公开
- Patent Title: 質量分析装置
- Patent Title (English): MASS ANALYSIS DEVICE
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Application No.: PCT/JP2022/009356Application Date: 2022-03-04
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Publication No.: WO2022249624A1Publication Date: 2022-12-01
- Inventor: 松下 知義 , 司馬 駿希
- Applicant: 株式会社島津製作所
- Applicant Address: 〒6048511 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 Kyoto
- Assignee: 株式会社島津製作所
- Current Assignee: 株式会社島津製作所
- Current Assignee Address: 〒6048511 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 Kyoto
- Agency: 弁理士法人深見特許事務所
- Priority: JP2021-088208 2021-05-26
- Main IPC: G01N27/62
- IPC: G01N27/62 ; H01J49/04 ; H01J49/24 ; H01J49/26
Abstract:
質量分析装置（１）は、壁部（３３ａ）を有し、質量分析部（３０）が設けられた筐体部（３３）と、ベース部（７０）と、ベース部（７０）に取り外し可能に取り付けられたサンプリングユニット（２０）と、試料由来のガスを排出するための排気経路（８０）と、を備え、排気経路（８０）は、サンプリングユニット（２０）に設けられた第１経路（８１）と、ベース部（７０）に設けられた第２経路（８２）と、筐体部（３３）に設けられた第３経路（８３）とを含み、ベース部（７０）は、壁部（３３ａ）に固定された第１ベース部（７１）と、第２経路（８２）が設けられた第２ベース部（７２）とを有し、第２ベース部（７２）は、第１ベース部（７１）に取り外し可能に固定される。
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