プラズマ発生装置、プラズマ処理装置およびシームレスローラモールド用プラズマエッチング装置
Abstract:
より大容量の容器内に、より密度の高いプラズマを発生させることを可能とするべく、本開示に係るプラズマ発生装置は、誘導性負荷、および該誘導性負荷に高周波電力を供給する高周波電源(22)を有する高周波回路(20)と、減圧可能に構成され、誘導性負荷に高周波電力を印加することによりプラズマが発生する反応容器と、を備える。誘導性負荷は、反応容器の周囲を取り巻くように配置される螺旋状のアンテナコイル(21)で構成されており、アンテナコイルは、少なくとも2以上に分割されている。高周波回路(20)は、少なくとも2以上に分割されたアンテナコイル(21)のそれぞれが設けられた複数の経路(23)を有する。
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