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立式长管镀膜设备
Abstract:
一种立式长管镀膜设备,包括真空壳体(10)、第一靶架(20)、第二靶架(30)、第三靶架(40)以及工件架(50),真空壳体(10)上开设有第一舱门(11)、第二舱门(12)以及第三舱门(13),第一舱门(11)和第二舱门(12)相对设置,真空壳体(10)的内部具有真空腔(14),第一靶架(20)和第二靶架(30)分别设于第一舱门(11)和第二舱门(12)两侧且第一靶架(20)和第二靶架(30)能够分别沿靠近真空壳体(10)的方向移动以封闭第一靶门和第二靶门,第一靶架(20)和第二靶架(30)上均设置有溅射阴极(90),工件架(50)设置在第三靶架(40)内,工件架(50)上承载有管状工件(60),第三靶架(40)能够将工件架(50)通过第三舱门(13)进入真空腔(14)内,该立式长管镀膜设备能够有效提高管状工件的镀膜效率。
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