- 专利标题: VERFAHREN ZUR ÄNDERUNG DER POLARISATION EINES LASERS
- 专利标题(英): METHOD FOR CHANGING THE POLARIZATION OF A LASER
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申请号: PCT/EP2021/074262申请日: 2021-09-02
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公开(公告)号: WO2023030633A1公开(公告)日: 2023-03-09
- 发明人: DAHLINGER, Morris , CARSTENS, Kai
- 申请人: TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING GMBH
- 申请人地址: Johann-Maus-Strasse 2
- 专利权人: TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING GMBH
- 当前专利权人: TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING GMBH
- 当前专利权人地址: Johann-Maus-Strasse 2
- 代理机构: KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB
- 主分类号: G02F1/00
- IPC分类号: G02F1/00 ; G02F1/09
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Änderung der Polarisation eines Arbeitslaserstrahls (12). Der Arbeitslaser (12) strahlt aus einer Arbeitslaserquelle (22) auf einen Faraday- Rotator (14). Der Faraday-Rotator (14) weist ein Verdet-Medium (20) und einen Magneten (16) auf, dessen Magnetfeld das Verdet-Medium (20) durchdringt. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass die Dichte der freien Ladungsträger in dem Verdet-Medium (20) und dadurch die Verdet-Konstante des Verdet-Mediums (20) geändert wird. Dazu wird durch einen auf das Verdet-Medium (20) gerichteten Anregungslaserstrahl (26), eine an dem Verdet-Medium (20) angeordnete Elektrode und/oder ein an dem Verdet-Medium (20) angeordnetes Heiz-/Kühlement (28) ein elektrisches Feld und/oder eine Temperaturänderung in dem Verdet-Medium (20) bewirkt.