案内装置、案内方法、計測装置、物体の製造設備、計測方法、物体の製造方法、及び物体の品質管理方法
Abstract:
本発明に係る案内装置は、計測対象物の物理量を計測する計測手段を走査させる際に、計測対象物に対する計測手段の走査位置を案内する案内手段を備え、案内手段は、走査位置を案内する少なくとも2本の線状の案内用マーカーを有し、少なくとも2本の線状の案内用マーカーは、計測手段の計測位置よりも走査方向前方の位置に、走査位置を挟んで所定間隔を空けて配置される。
Patent Agency Ranking
0/0