公开(公告)号：CN102691031A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201110456767.1

申请日：2011-12-27

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 小林郁典 ,  高政佑 ,  李相信 ,  姜择教

IPC: C23C14/04

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C16/042

Abstract: 本发明公开了一种沉积掩模。在拉力的作用下放置在掩模框架上的沉积掩模包括由于施加到沉积掩模的拉力而沿行方向和列方向对包括第一初始设计图案和第n初始设计图案在内的第一初始设计图案至第n初始设计图案进行校正得到的第一校正图案至第n校正图案，第一初始设计图案至第n初始设计图案沿第一方向顺序地布置，其中，第一校正图案至第n校正图案的最外侧包括沿与第一方向平行的方向延伸的第一最外侧和沿与第一方向垂直的第二方向延伸的第二最外侧，其中，第一最外侧具有第一曲率并且相对于第一初始设计图案和第n初始设计图案向内凹进，第二最外侧具有第二曲率并且相对于第一初始设计图案至第n初始设计图案向外凸出。

公开(公告)号：CN102569673A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110341551.0

申请日：2011-11-02

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 高政佑 ,  小林郁典 ,  李相信 ,  姜泽敎

IPC: H01L51/56

CPC classification number: C23C14/042 ,  Y10T29/49863 ,  Y10T428/24314

Abstract: 本发明提供一种掩膜框架组件、其制造方法及制造有机发光显示器的方法。所述掩膜框架组件包括框架和安装在所述框架上同时在第一方向上被拉伸的掩膜。所述掩膜包括：包括多个沉积图案部分的沉积区域，形成为具有厚度大于所述沉积区域的厚度并且包括在所述沉积区域的两侧上沿第一方向延伸的第一边缘和第二边缘的边缘单元，以及形成为具有厚度大于所述沉积区域的厚度、形成在相邻的沉积图案部分之间并且在第二方向上延伸的两个或更多个肋，其中所述第二方向垂直于所述第一方向。

公开(公告)号：CN102023474B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201010248758.9

申请日：2010-08-06

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 高政佑 ,  小林郁典 ,  李相信

IPC: C23C14/04 ,  C25D1/10

CPC classification number: C23C14/042 ,  B05C21/005 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明提供一种掩模组件、其制造方法及用于平板显示器的沉积装置。掩模组件包括具有多个第一开口的开口掩模和结合到开口掩模的图案掩模，图案掩模具有设置在由第一开口限定的区域内的多个第二开口，其中，开口掩模由具有比图案掩模的热膨胀系数低的热膨胀系数的材料形成。

公开(公告)号：CN102023474A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010248758.9

申请日：2010-08-06

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 高政佑 ,  小林郁典 ,  李相信

IPC: G03F1/14 ,  H01L51/56 ,  C23C14/04 ,  C25D1/10

CPC classification number: C23C14/042 ,  B05C21/005 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明提供一种掩模组件、其制造方法及用于平板显示器的沉积装置。掩模组件包括具有多个第一开口的开口掩模和结合到开口掩模的图案掩模，图案掩模具有设置在由第一开口限定的区域内的多个第二开口，其中，开口掩模由具有比图案掩模的热膨胀系数低的热膨胀系数的材料形成。