公开(公告)号：CN1182592C

公开(公告)日：2004-12-29

申请号：CN00130373.2

申请日：2000-11-02

Applicant: 三洋电机株式会社

Inventor： 塙平信夫 ,  若宫要範 ,  主藤秀和 ,  森博幸 ,  小野雅义 ,  篠原亘 ,  山本惠章

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/022466 ,  H01L31/02164

Abstract: 一种光产生电力装置的制造方法，该装置是在具备绝缘表面的基板上设第一电极层、半导体光活性层及透明导电层，该制造方法依序包括如下步骤：(1)于基板形成第一电极层及半导体光活性层；(2)于绝缘表面形成透明导电膜；(3)将透光性保护膜配置在上述发电区域的之透明导电膜上；(4)照射紫外线激光，去除未以上述透光性保护膜遮罩部位的透明导电膜；(5)保留上述透光性保护膜。本发明可以使光产生电力装置的可靠性提高。

公开(公告)号：CN1298208A

公开(公告)日：2001-06-06

申请号：CN00130373.2

申请日：2000-11-02

Applicant: 三洋电机株式会社

Inventor： 塙平信夫 ,  若宫要範 ,  主藤秀和 ,  森博幸 ,  小野雅义 ,  篠原亘 ,  山本惠章

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/022466 ,  H01L31/02164

Abstract: 一种光产生电力装置的制造方法,该装置是在具备绝缘表面的基板上设第一电极层、半导体光活性层及透明导电层,该制造方法依序包括如下步骤:(1)于基板形成第一电极层及半导体光活性层;(2)于绝缘表面形成透明导电膜;(3)将透光性保护膜配置在上述发电区域的之透明导电膜上;(4)照射紫外线激光,去除未以上述透光性保护膜遮罩部位的透明导电膜;(5)保留上述透光性保护膜。本发明可以使光产生电力装置的可靠性提高。