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发明公开
测量装置审中-实审

公开(公告)号：CN116917690A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280013719.1

申请日：2022-02-16

Applicant: 东洋钢钣株式会社

Inventor： 中泽信夫 , 木村和则

IPC: G01B21/30

Abstract: 本发明解决的问题是提供一种即使在测量对象的形状相对较薄时也能够更为精确地测量测量对象的平坦度的测量装置。本发明为一种测量碟盘(10)的测量装置(20)，包括：测量碟盘(10)的A面的A面测量部；以及传送碟盘(10)的第一传送部(24)。A面测量部包括相对于垂直方向以倾斜角度θ倾斜的测量基准面(61a)。第一传送部(24)包括以使碟盘(10)平行于测量基准面(61a)的方式保持碟盘(10)的保持部(81)。保持部(81)保持碟盘(10)，并在保持碟盘(10)以倾斜角度θ倾斜的姿态的同时沿垂直方向移动，而且还对A面测量部(23)进行碟盘(10)的上载和下载。

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