一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法

    公开(公告)号:CN114486813B

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202111660364.9

    申请日:2021-12-31

    IPC分类号: G01N21/49 G01N21/21

    摘要: 本发明提出的一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法,通过设置λ/2波片和偏振分光棱镜组成作用激光的衰减调节单元,λ/2波片和偏振分光棱镜组成激光偏振分光单元,可实现在相同测试条件下,测试s线偏振光和p线偏振光对同一元器件的损伤阈值;通过在第二偏振分光棱镜的反射光路和透射光路中设置切入和切出的λ/4波片,可实现在相同测试条件下,测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值,还可测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值,或者测试线偏振光和任意偏振光对同一元器件的损伤阈值;本装置为了提高散射探测灵敏度,采用线偏振光散射探测法测试样品损伤情况,同时可以测试线偏正光散射后偏振特性是否发生变化。

    一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法

    公开(公告)号:CN114486813A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111660364.9

    申请日:2021-12-31

    IPC分类号: G01N21/49 G01N21/21

    摘要: 本发明提出的一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法,通过设置λ/2波片和偏振分光棱镜组成作用激光的衰减调节单元,λ/2波片和偏振分光棱镜组成激光偏振分光单元,可实现在相同测试条件下,测试s线偏振光和p线偏振光对同一元器件的损伤阈值;通过在第二偏振分光棱镜的反射光路和透射光路中设置切入和切出的λ/4波片,可实现在相同测试条件下,测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值,还可测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值,或者测试线偏振光和任意偏振光对同一元器件的损伤阈值;本装置为了提高散射探测灵敏度,采用线偏振光散射探测法测试样品损伤情况,同时可以测试线偏正光散射后偏振特性是否发生变化。