公开(公告)号：CN115602490A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211225993.3

申请日：2022-09-30

申请人： 平高集团有限公司(CN) ,  西安交通大学(CN)

发明人： 钟建英 ,  杨帆 ,  张飞龙 ,  胡锦汐 ,  袁欢 ,  杨爱军 ,  王小华 ,  荣命哲

IPC分类号： H01H33/668 ,  G01N21/71 ,  G06F18/2431

摘要： 本发明公开了一种基于激光诱导击穿光谱和随机森林标定真空开关真空度的方法，方法中，采用激光击打不同真空度条件下的真空腔内的铜靶材；将产生的等离子体用ICCD相机记录并导入光谱仪；记录铜、氧、氮、氢四种特征元素的强度谱线作为激光诱导击穿光谱；对光谱数据进行预处理；将数据分为训练集和测试集；用训练集建立激光诱导击穿光谱的真空度标定的随机森林分类模型，并用测试集验证模型的准确度；利用构建的模型和待测真空开关灭弧室的激光诱导击穿光谱，预测灭弧室的真空度。该方法可以用于在线测量，检测精度高，检出限达到10‑3Pa，抗电磁干扰能力强，准确度高。