公开(公告)号：CN114996071A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210772980.1

申请日：2022-06-30

申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司

发明人： 孙华凯 ,  宦金宝 ,  马铁中

IPC分类号： G06F11/22

摘要： 本申请提供了一种数据分析方法、系统、介质及电子设备。该方法包括：获取待分析晶圆的至少一组检测数据；针对任意一组检测数据，根据对应的检测标准，对所述待分析晶圆进行标识，生成所述待分析晶圆的缺陷标识图；对各个缺陷标识图进行叠图操作，生成所述待分析晶圆的综合缺陷图，根据所述综合缺陷图进行针对所述待分析晶圆的数据分析。本申请的技术方案可以使得各工艺段的检测数据得以整合，能够明晰缺陷的演变和工艺问题，为工艺改进和设备监控提供有效的数据支持。