致动器、具备其的移载头、使用移载头的部件安装装置及方法

    公开(公告)号:CN103997881A

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201410049598.3

    申请日:2014-02-13

    Abstract: 本发明使用紧凑的移载头而使部件安装高速化。本发明的一种致动器,其搭载于部件安装装置的移载头,且用于使多个喷嘴在一个方向上移动,其中,该致动器具有多个线性电动机,该线性电动机包括:杆,其在喷嘴沿着一个方向移动的喷嘴移动方向上延伸,以将多个磁铁在喷嘴移动方向上排列的状态具备多个磁铁,且在一端连结有喷嘴;多个线圈,其以在喷嘴的移动方向上排列的状态配置,且分别围绕着杆;以及编码器,其用于检测杆的喷嘴移动方向上的位置。多个线性电动机以在与喷嘴移动方向正交的方向上排列的状态且连结有喷嘴的杆的一端向外部露出的状态、且以杆能够分别在喷嘴移动方向上滑动的方式收纳于一个外壳。

    流体轴承装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100545470C

    公开(公告)日:2009-09-30

    申请号:CN200510068574.3

    申请日:2005-03-11

    CPC classification number: F16C17/107 F16C33/1025 F16C2370/12 Y10S384/902

    Abstract: 本发明提供一种流体轴承装置,该流体轴承装置能够阻止工作流体向轴承外部流出并防止径向轴承刚性降低,而且能够良好地维持推力轴承和径向轴承间隙,并能稳定转动。本发明是一种流体轴承装置,轴(2)插入套筒(1)的轴承孔(1b)内可相对自由旋转,在轴(2)外周面和套筒(1)内周面至少一个面上设置具有动压发生槽(3A、3B)的径向轴承面,工作流体(11)充满所述轴(2)和套筒(1)之间空隙,轴(2)由高锰铬钢或不锈钢构成,套筒(1)整体是包含重量超过60%的铁或铜的金属粒子构成的烧结金属,树脂、金属或水玻璃被含浸在存在于该烧结金属表面空孔中并硬化。由此,能够阻止工作流体(11)从套筒(1)向轴承外部泄漏,同时,能够防止轴承内部的压力降低。

    流体轴承装置及使用了该装置的主轴马达

    公开(公告)号:CN101216066A

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200810003327.9

    申请日:2005-03-31

    Abstract: 转矩小、耗电量少、可靠性高、最适合于小型化的流体轴承装置以及使用了该装置的主轴马达。本发明的流体轴承装置是轴和套筒的至少一方具有动压发生槽、在上述轴和上述套筒对置的间隙存在有润滑剂的流体轴承装置,其中,上述润滑剂含有碳原子数4~8、在β位不具有烷基侧链的二元醇和1种以上的碳原子数6~10的饱和二元酸及1种以上的碳原子数5~13的饱和一元脂肪酸形成的酯,上述间隙为1~5μm的径向半径间隙。

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