分析装置、检查系统及学习装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116507907A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202180079661.6

    申请日:2021-11-18

    Inventor: 指田岳彦

    Abstract: 分析装置具有获取部、提取部及分析部。获取部获取在向对象照射光时被拍摄到的多个图像中的每一个的图像信息。提取部基于图像信息,提取对象被照射光的照射区域与对象的被检查区域处于规定的关系的图像。分析部基于由提取部提取出的图像的图像信息,分析被检查区域的状态。

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