一种电子级三氟化氮气体的水分分析系统

    公开(公告)号:CN206818664U

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201720365733.4

    申请日:2017-03-29

    IPC分类号: G01N33/00

    摘要: 本实用新型公开了一种电子级NF3气体的水分分析系统,包括四部分,第一,吹扫部分:包括高纯氮气钢瓶(1)、第一减压阀(2)、在高纯氮气的流动方向下游还接有纯化装置(3)和第一隔膜阀(4)及连接管路;第二,抽真空部分:包括第二隔膜阀(5)和真空系统(6)及连接管路;第三,水分仪部分:包括第三隔膜阀(7)、水分仪(8)和第四隔膜阀(9)及连接管路;第四,电子级NF3气体部分:包括电子级NF3气体钢瓶(10)、第二减压阀(11)和第五隔膜阀(12)及连接管路;其中第一隔膜阀、第二隔膜阀、第三隔膜阀和第五隔膜阀之间通过管路连接。该系统能快速实现水分含量的准确测定,提高分析效率,并避免NF3气体吹扫置换管路所造成的浪费和污染。