一种夹层结构的探针式薄膜温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116858394A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310840505.8

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种夹层结构的探针式薄膜温度传感器及其制备方法,属于温度测量技术领域,传感器包括第一基底与第二基底,设置于第一基底与第二基底之间的正极热电偶薄膜、负极热电偶薄膜、冷端热电偶及金属导线,以及基底端面的端面热电偶薄膜;利用基底及耐高温胶将正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜保护起来,只有形成热接点的端面热电偶薄膜直接暴露在高温环境中,避免正负极热电偶薄膜受高温环境及气流冲刷而导致失效,也保证了薄膜热接点的快速响应;正负极热电偶薄膜及端面热电偶薄膜的制备采用丝网印刷技术,制备工艺简单,成本低,仪器设备要求低,经济性好。

    一种用于气流瞬态测温的探针型薄膜热电偶及其制备方法

    公开(公告)号:CN118624045A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410682201.8

    申请日:2024-05-29

    Abstract: 本发明公开了一种用于气流瞬态测温的探针型薄膜热电偶及其制备方法,采用陶瓷基底拼接柔性薄膜热电偶的结构解决现有陶瓷基薄膜热电偶用于气流瞬态温度测量时响应时间过长的技术问题,包括两个陶瓷基底以及柔性基底上的正极敏感层薄膜、负极敏感层薄膜。采用丝网印刷、磁控溅射等技术在柔性基底上制备两种不同材料的热电极敏感层薄膜,并进行引线。将柔性传感器夹在两个陶瓷基底中间,利用陶瓷胶进行密封与粘结固定,拼接成探针型气流总温传感器的形式,制备的探针型薄膜热电偶可用于高温气流的温度测量,减少薄膜与基底间的传热、换热时间,提高传感器测量气流瞬态温度时的响应速度。

    一种大温度梯度薄膜温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116929580A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202310840540.X

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种大温度梯度薄膜温度传感器及其制备方法,属于温度测量技术领域;传感器包括平面基底、设置于平面基底上若干的孔、正极热电偶薄膜、负极热电偶薄膜、冷端热电偶及金属导线;其中正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜的一端重叠作为温度敏感区,另一端作为冷端;平面基底上开设的若干孔增大了导热热阻,从而增加了温度梯度,降低了热电偶薄膜的冷端温度,进而保证冷端引线连接的可靠性并提升热电输出。另外,基于丝网印刷技术制备正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜,制备工艺简单、成本低、仪器设备要求低,经济性好。

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