包括集成微机械式环形谐振器的时基

    公开(公告)号:CN1387696A

    公开(公告)日:2002-12-25

    申请号:CN00815353.1

    申请日:2000-11-01

    Abstract: 本文所描述的时基包括谐振器(4)和集成电子电路(3),集成电子电路(3)用于驱动谐振器发生振荡并随此振荡产生具有确定频率的信号。本谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4),它支承在衬底(2)上方且适合环绕与衬底基本垂直的旋转轴(O)振荡。环形谐振器包括从衬底沿旋转轴伸出的中央立柱(5),和独立式振荡构件(6),该独立式振荡构件包括与旋转轴共轴的外环(60)和许多环绕中央立柱对称布置且将外环连接到中央立柱的弹性元件(62)。

    包括集成微机械式环形谐振器的时基

    公开(公告)号:CN1265547C

    公开(公告)日:2006-07-19

    申请号:CN00815353.1

    申请日:2000-11-01

    Abstract: 本文所描述的时基包括谐振器(4)和集成电子电路(3),集成电子电路(3)用于驱动谐振器发生振荡并随此振荡产生具有确定频率的信号。本谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4),它支承在衬底(2)上方且适合环绕与衬底基本垂直的旋转轴(O)振荡。环形谐振器包括从衬底沿旋转轴伸出的中央立柱(5),和独立式振荡构件(6),该独立式振荡构件包括与旋转轴共轴的外环(60)和许多环绕中央立柱对称布置且将外环连接到中央立柱的弹性元件(62)。

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