公开(公告)号：CN100346231C

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200410076979.7

申请日：2004-08-27

申请人： LG.菲利浦LCD有限公司 ,  东进瑟弥侃株式会社

发明人： 曹奎哲 ,  蔡基成 ,  权五楠 ,  李坰默 ,  黄龙燮 ,  金圣培 ,  长锡唱 ,  尹锡壹

IPC分类号： G03F7/42 ,  G02F1/136 ,  G02F1/133

CPC分类号： C11D3/0073 ,  C11D7/263 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/3263 ,  C11D7/3281 ,  C11D7/34 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/425

摘要： 本发明提供了一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物，该组合物包含：约10重量%～30重量%的胺化合物溶剂，该胺化合物溶剂包含链烷醇胺；约10重量%～80重量%的乙二醇类溶剂；约9.5重量%～79重量%的极性溶剂和约0.5重量%～10重量%的防腐蚀剂。

公开(公告)号：CN1591199A

公开(公告)日：2005-03-09

申请号：CN200410076979.7

申请日：2004-08-27

申请人： LG.菲利浦LCD有限公司 ,  东进瑟弥侃株式会社

发明人： 曹奎哲 ,  蔡基成 ,  权五楠 ,  李坰默 ,  黄龙燮 ,  金圣培 ,  长锡唱 ,  尹锡壹

IPC分类号： G03F7/42 ,  G02F1/136 ,  G02F1/133

CPC分类号： C11D3/0073 ,  C11D7/263 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/3263 ,  C11D7/3281 ,  C11D7/34 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/425

摘要： 本发明提供了一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物，该组合物包含：约10重量％～30重量％的胺化合物溶剂，该胺化合物溶剂包含链烷醇胺；约10重量％～80重量％的乙二醇类溶剂；约9.5重量％～79重量％的极性溶剂和约0.5重量％～10重量％的防腐蚀剂。