一种高精度弱流电子束调束装置及方法

    公开(公告)号:CN113257651A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110171278.5

    申请日:2021-02-02

    Abstract: 本发明公开了一种高精度弱流电子束调束装置及方法,属于电学计量量子化技术领域。本发明系统包括:磁场调控单元,设定电子源通电电流的大小,并根据电子源通电电流的大小,确定纵向磁场分布,通过调节电子源的通电电流改变纵向磁场分布,获取散聚焦调控电子束流;刮束单元,针对散聚焦调控电子束流,进行刮束,获取目标电子光束;观测单元,通过荧光屏捕获目标电子束流的束斑图像,获取束斑图像信息,根据束斑图像信息,确定目标电子束流品质,根据目标电子束流品质对电流量子化。本发明引入粒子加速器技术,突破传统基于单电子隧道效应的电流量子化方式的限制,使得电流流强有极大提高,同时也改进了电子源输出电子束流的稳定性。

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