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公开(公告)号：CN102914749B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210469660.5
申请日：2012-11-19
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01R33/028
摘要： 本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用，所述微机械磁场传感器至少包括：谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小，其中，构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在反相位模式，各该谐振振子结构上的金属线圈环绕方向相反，两个谐振振子结构上的金属线圈产生的感应电动势相互并联；由于驱动信号是差分信号，消除输出信号中的容性耦合信号，以获得单纯的磁场输出信号；同时，本发明利用耦合结构将两个谐振振子结构耦合起来使两个谐振振子结构连接为一体运动；进一步，本发明结构简单，受温度影响小，输出信号大，灵敏度高，检测的准确度高，适合高工作频率。
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公开(公告)号：CN102645565B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210133940.9
申请日：2012-04-28
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01R3/00 , G01R33/028 , B81C1/00
摘要： 本发明提供一种微机械磁场传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该方法通过在器件结构层上沉积一具有接触孔的牺牲层，然后在所述牺牲层上制备金属线圈，接着腐蚀掉所述牺牲层，最后利用干法刻蚀制作出器件结构，并将器件结构进行释放以形成谐振振子，从而形成了一个金属线圈悬于谐振振子之上的微机械磁场传感器。本发明提出的微机械磁场传感器的谐振振子工作在扩张模态，因而金属线圈上每小段金属切割磁感线产生感应电动势会相互叠加，增强了输出信号的强度，同时金属线圈与谐振振子之间接触面的减少解决了高频时的信号串扰问题。此外，本发明所述的微机械磁场传感器具有低功耗、驱动-检测电路简单、受温度影响小、以及工艺简单等优点。
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公开(公告)号：CN103765237A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280042055.8
申请日：2012-08-08
申请人： 西门子公司
IPC分类号： G01R33/18 , G01R33/028
CPC分类号： G01R33/096 , G01R33/02 , G01R33/028 , G01R33/07 , G01R33/09 , G01R33/093 , G01R33/18
摘要： 本发明涉及一种用于磁致弹性的传感器的、具有铁氧体芯(3)的测量头(1)。铁氧体芯(3)包含第一端(5)，其上安置产生磁场的激励线圈(9)，并且包含至少一个第二端(7)，其上安置磁场传感器(11，41)。
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公开(公告)号：CN101216539A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810001920.X
申请日：2008-01-03
申请人： 通用电气公司
IPC分类号： G01R33/028 , G01R15/20
CPC分类号： G01R35/00 , B81B3/0021 , G01R15/207 , G01R33/0283 , G01R33/0286 , G01R35/005
摘要： 本发明公开了一种用于校准基于微机电系统的传感器的方法和系统(90)。该系统(90)包括：用于在元件之间提供隧道电流的隧道电流激励源(50)；以及用于监测隧道电流响应于至少一个元件的运动而产生的变化的隧道电流监测器(52)。该系统还包括：用于定位其中至少一个元件的定位器(86)；以及与隧道电流监测器进行通信的控制器(88)，用于控制定位器，以便在元件之间的第一间隔定位其中至少一个元件，从而将该系统构造成参考模式，以及在第二间隔定位元件，从而将该系统构造成检测模式，由此该系统相对于该参考模式进行校准。
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公开(公告)号：CN1886669A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200480034653.6
申请日：2004-09-21
申请人： 秦内蒂克有限公司
IPC分类号： G01R33/028
CPC分类号： G01R33/0286
摘要： 描述了一种共振磁强计(20)，包括具有元件(26)和用于使交流电(AC)流经所述振荡元件(26)的装置的基板。该磁强计的特征在于，还提供驱动装置(46，48)，用于向所述振荡元件(26)施加磁场无关的振荡力。描述了该磁强计的一种微型机电系统(MEMS)实施方式。
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公开(公告)号：CN1165776C
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN00809930.8
申请日：2000-05-11
申请人： 重力技术设备有限公司
发明人： A·V·维尔亚斯金
IPC分类号： G01R33/028 , G01R33/022
CPC分类号： G01R33/028 , G01R33/022
摘要： 一种测量磁力梯度张量的分量的方法和装置，其中丝(1)传导交变电流。通过拾波线圈(L1，L2)检测由穿过丝的磁力梯度引起的丝离开其无扰动位置的位移。用从所述交变电流导出的信号对来自拾波线圈的信号解调，从而产生输出。
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公开(公告)号：CN1360679A
公开(公告)日：2002-07-24
申请号：CN00809930.8
申请日：2000-05-11
申请人： 重力技术设备有限公司
发明人： A·V·维尔亚斯金
IPC分类号： G01R33/028 , G01R33/022
CPC分类号： G01R33/028 , G01R33/022
摘要： 一种检测磁场的方法和装置,其中丝(1)传导交变电流。通过拾波线圈(L1,L2)检测由穿过丝的磁力梯度引起的丝离开其无扰动位置的位移。用从所述交变电流导出的信号对来自拾波线圈的信号解调,从而产生输出。
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公开(公告)号：CN203786279U
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201420194555.X
申请日：2014-04-22
申请人： 上海复旦天欣科教仪器有限公司
IPC分类号： G01R33/028 , G01R33/02
摘要： 本实用新型属于电磁处理技术领域，具体为一种振动样品磁强计信号采样处理系统。其包括：一个前置放大电路、2个运算放大电路、一个加法电路和一个交直流置换电路；其中，振动频率信号经过第一运算放大电路后进入加法电路；探测线圈信号经过前置放大电路，经放大后送入第一运算放大电路，然后进入加法电路；两路信号经加法电路叠加，叠加后交流信号的幅度随磁化强度的大小与方向而改变；然后进入交直流置换电路，将交流信号转换为直流信号。本实用新型在实时同步测量时能够区分样品磁化方向正负。
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公开(公告)号：CN209563744U
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201821871816.1
申请日：2018-11-13
申请人： 广州广电计量检测股份有限公司
IPC分类号： A47B37/00 , A47B13/02 , G01R33/028
摘要： 本实用新型提出了一种磁影响测试桌子，包括桌子本体、延伸板、磁力计、EUT，所述磁力计与所述EUT分别设置于所述桌子本体的两端；所述延伸板设置在与所述EUT同一端的所述桌子本体上，所述延伸板上设置有固定件；所述EUT的电缆束通过所述固定件固定在所述延伸板上的处于磁力计的东-西轴线的位置上；本实用新型通过在延伸板采用卡扣或胶带固定线缆线束，可以保证EUT的电缆束始终保持在磁力计的东-西轴线的位置上，以解决不能保证被测设备EUT的电缆束始终处于在磁力计的东-西轴线的位置上的技术问题，从而测得准确的偏转角，进而实现了EUT的电缆束始终保持在磁力计的东-西轴线的位置上而获得准确的偏转角。
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公开(公告)号：CN206945930U
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201720579655.8
申请日：2017-05-23
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
IPC分类号： G01R33/028
摘要： 本申请公开了一种磁感应强度检测装置及终端设备，用以提供一种结构简单、便于携带的磁感应强度检测装置，可以有效、便捷、灵活的检测磁感应强度大小。本申请实施例提供的磁感应强度检测装置，包括：磁感应强度感应部件和电源；电源用于为磁感应强度感应部件提供电压，使得磁感应强度感应部件内部产生电流；磁感应强度感应部件包括电致发光部件以及电流检测部件；电致发光部件和电流检测部件串联；电流检测部件用于检测流过电致发光部件的电流变化量，并根据该电流变化量，以及预设的电流变化量与磁感应强度的对应关系，确定当前磁感应强度。
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