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公开(公告)号：CN113777048A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110920395.7
申请日：2021-08-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元用将光源出射的源光束进行偏振和相位调制，产生包含偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束，然后将该混合光束投射到待测样品表面；光谱采集单元采集从待测样品表面反射的光束并进行偏振解调和光谱分散，从而获得干涉光谱；照明光路单元中设置有偏振干涉调制模块，该偏振干涉调制模块用于形成一束偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束。通过本发明，解决传统椭偏测量方法横向分辨率低、测量速度慢等问题，实现对超薄纳米薄膜的小光斑尺寸和宽入射角度超快椭偏测量。
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公开(公告)号：CN112902851A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110085152.6
申请日：2021-01-21
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种柔性铰链式触针位移传感器，包括：触针单元，包括柔性铰链、固定连接于柔性铰链上表面的第二平面反射镜以及穿过柔性铰链连接于第二平面反射镜下表面的触针；偏振干涉计量单元，水平方向依次包括激光器、偏振分光镜、第一1/4波片以及第一平面反射镜偏振干涉计量单元还包括设于偏振分光镜反射光路上的第二1/4波片以及设于偏振分光镜上方的偏振片和光电探测器。本申请通过对光的偏振反射后的光程差分析即可获得位移量，测量简单精度高。
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公开(公告)号：CN112525080A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011266768.5
申请日：2020-11-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种基于差动偏振干涉的悬浮触针位移传感器及检测方法，位移传感器包括自上而下设置的差分偏振干涉器、音圈电机及悬浮触针机构，悬浮触针机构连接于音圈电机；音圈电机包括活动地相连接的音圈电机定子及音圈电机动子，音圈电机动子用于带动悬浮触针机构做竖直移动；悬浮触针机构包括连接于音圈电机动子的悬浮轴承及活动地连接于悬浮轴承的触针轴；差分偏振干涉器用于测量触针轴相对于悬浮轴承的位移以得到一级位移量；通过测量音圈电机动子相对于音圈电机定子的位移得到二级位移量，将一级位移量及二级位移量运算结合即可得到被测表面的测量结果。本发明提高了稳定性及可靠性，扩展了测量范围。
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公开(公告)号：CN110631483B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910932300.6
申请日：2019-09-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密测量领域，并公开了正交光栅三自由度磁浮测量传感器、检测仪及其检测方法，其包括分光棱镜、分设于分光棱镜左右两侧的激光器和第一平面反射镜、分设于分光棱镜上下两侧的干涉信号探测器和正交透射光栅、位于正交透射光栅下方的第二平面反射镜以及位于第二平面反射镜上方且呈正交布置的四个光斑位置探测器，第二平面反射镜安装在待测的磁浮触针结构上；所述检测仪包括偏转角度计算模块、位移计算模块及所述正交光栅三自由度磁浮测量传感器；所述检测方法由所述检测仪实现。本发明可实现两个方向的偏转角度的同时测量，对触针磁浮轴支撑刚度进行电流反馈，从而使得垂直方向的直线位移精确计量，具有结构紧凑、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN111208633B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010023805.3
申请日：2020-01-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明公开了一种色散共焦显微镜的特性参量的优化方法，其通过利用探测针孔平面上实际像的强度函数和圆形探测器的灵敏度函数两者之间的映射关系，得到探测器上轴向响应共焦信号强度函数；获取复色针孔光源的所有波长的光的焦点到折射面的距离函数，并得到所有波长的色散位移函数；利用探测器上轴向响应共焦信号强度函数和所有波长的色散位移函数之间的映射关系，得到色散共焦显微镜的色散共焦信号函数；利用色散共焦显微镜的色散共焦信号函数表征的特性参量之间的映射关系，对色散共焦显微镜的特性参量进行调整，以实现色散共焦显微镜的性能优化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111664346A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010541445.6
申请日：2020-06-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出一种适用于大尺度长周期无油条件下的超滑结构，包括树脂基材质的上基底和下基底，所述上、下基底相接触的摩擦面上均设有若干条形通道或异形凹槽；所述摩擦面弹性模量为1.0-10GPa，体弹模量为1.0-10GPa，剪切模量为0.3-2.0GPa，泊松比为0.2-0.7。本发明利用结构与材料本征特性实现超滑性能，突破了对超滑状态对晶体特定结晶状态需求的限制。其摩擦系数可低至10-3数量级，可适用于大尺度、长周期、高载荷、无油条件下的机械往复运动、循环周期运动、微动运动、冲击运动等，可应用于机械、电子、模具、航空航天等领域，减少能源消耗和因摩擦引起的机械故障。
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公开(公告)号：CN109628772A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811592724.4
申请日：2018-12-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超短周期高强度‑高延展性镍铝青铜合金的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、按Cu：Al：Ni：Fe：Mn的摩尔比配比各粉料，粉料的平均粒径为20‑60μm；将各粉料混合，得到配料；S2、按上述配料成分经熔炼、锻造和热处理工艺获得直径为50‑100mm的镍铝青铜棒料；S3、采用等离子电极雾化法对上述镍铝青铜棒料进行雾化处理；S4、将上述等离子电极雾化处理后的镍铝青铜合金粉末，采用选择性电子束熔融工艺，经3D打印获得高密度以及兼具高强度与高延展性的镍铝青铜合金。本发明的制备方法所得合金内部析出相细小且呈均匀弥散分布状态，合金致密度高，兼具高强度与高延展性，制备过程中工艺参数易控制，加工周期短。
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公开(公告)号：CN108563856A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810295009.8
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种基于自由节点B样条建模的自适应采样方法，包括如下步骤：1、利用随机相移的均匀采样法对目标对象进行初始采样；2、利用四元树对采样点集进行划分得到测试位置；3、对采样点进行自由节点B样条建模；4、计算已确定的测试位置处的不确定度；5、根据步骤四求得的不确定度从采样空间中筛选新的最佳采样点并获取新的最佳采样点的采样值，然后将新的最佳采样点加入采样点集，得到新的采样点集；6、对新的采样点集重复步骤2到步骤5，直至采样点数量达到设定值，完成自适应采样。本发明通过在建模过程中自动令结点矢量与表面的动态变化相适应，达到比现有的采样方法更高的精度，尤其适用于不连续的高动态范围表面的测量。
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公开(公告)号：CN107748811B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201710855134.5
申请日：2017-09-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种针尖磨损后的被测轮廓的测量方法，其中上述方法主要包括如下步骤：获得第一标准球的针心轨迹，获得第二标准球的针心轨迹，给出第一标准球的球心坐标初始值，计算对应上述球心坐标下的针尖轮廓，由第二标准球的针心轨迹和由第一标准球所获得的针尖轮廓，使用被测轮廓重建算法获得第二标准球的被测轮廓，计算第二标准球的被测轮廓误差，重新设置第一标准球的球心坐标初始值，执行上述步骤计算获取轮廓误差，直到找到标准球的最优位置，使得轮廓误差达到最小，利用上述初始值来计算被测轮廓。按照本发明的针尖磨损后的被测轮廓的测量方法，可解决针尖磨损后的被测轮廓的重建问题，从而提高被测轮廓的重建精度。
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公开(公告)号：CN106199079B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201610801968.3
申请日：2016-09-05
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B9/00
Abstract: 本发明公开了一种白光干涉原子力显微镜探针自动标定系统及自动标定方法，其中实现自动标定控制方法中主要涉及的自动标定系统包括：标定样板，原子力探针组件，原子力探针，干涉显微物镜，面CCD及光路系统，水平二维电机运动平台，垂直电机运动和垂直纳米位移平台。按照本发明实现的自动标定系统以及根据该标定样板执行的标定方法，根据标定样板上的光强与探针表面的光强的对比关系来控制垂直电机运动平台和垂直纳米位移平台运动，从而控制探针接触到标定样板上的位置，由此完成标定，此方法能进一步提高标定速度，并且操作简单。
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