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公开(公告)号：CN207834256U
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201721088110.3
申请日：2017-08-29
申请人： 上海强华实业股份有限公司
发明人： 周文华
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 一种晶圆酸洗槽，该酸洗槽具有一个外槽，在外槽内部设有内槽，喷淋管设置在内槽底部，内槽内的支架用于支撑石英托板，石英托板上用于放置清洗花篮，清洗花篮用于放置需要清洗的晶圆，内槽的内侧壁和外侧壁上设有热电偶支架，用于安装热电偶，外槽的上部是向外扩出的边缘，在该扩出的边缘下设置有多个支承棒，在外槽的底部设置有排废管，内槽的上边缘具有多个溢流槽，溢流槽布满整个内槽上边缘，用于酸液的外溢，该溢流槽具有下泻的倒角。
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公开(公告)号：CN207391265U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201721344082.7
申请日：2017-10-18
申请人： 上海强华实业股份有限公司
发明人： 周文华
IPC分类号： C03B29/00
摘要： 一种石英板火焰抛光装置，该火焰抛光装置具有一个底座，在底座表面设有导轨，在导轨上的夹持载具可以沿着导轨进行左右方向的运动，夹持载具呈现为凹字形，用以夹持石英板，石英板被夹持载具夹住后正好位于凹字形的凹口处，沿底座表面，且与导轨垂直的方向上设有一对相对的火焰抛光枪，正对夹持载具的凹口处，用以从两个面向石英板进行火焰抛光。
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公开(公告)号：CN207250469U
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201721262843.4
申请日：2017-09-28
申请人： 上海强华实业股份有限公司
发明人： 周文华
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 一种用于12寸晶圆片的快速清洗槽，将12寸晶圆片被放置在晶圆片载具内，当所述晶圆片载具放置在所述快速清洗槽内时，在对应所述晶圆片载具内晶圆片的两侧垂直方向上分别设置有3个喷淋管，所述喷淋管的角度设置使得当水柱从喷淋管喷出时，水柱直接喷射到晶圆片的表面，在所述晶圆片载具两侧设置的喷淋管的角度设置是对称的，以晶圆片载具为中心形成3对喷淋管，使得两侧喷淋管喷射到晶圆片表面的水柱呈现为对称状态，且形成覆盖晶圆片的3个清洗面。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212706217U
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202021339539.7
申请日：2020-07-09
申请人： 上海强华实业股份有限公司
发明人： 周文华
摘要： 本实用新型公开了一种用于研磨石英锥形管的装置，包括支架、驱动组件和研磨组件；驱动组件包括转台，转台的顶部用于放置待研磨的石英锥形管，转台的底部设有传动轴，传动轴的顶端与转台连接，传动轴的底端套设有轴承，在所述支架的底部安装有电机，电机的输出端通过传输带与轴承连接，且可通过传输带带动轴承、传动轴、转台和石英锥形管转动；所述研磨组件包括设置在支架顶部的研磨臂支撑架和沙漏支撑架，在研磨臂支撑架设有一组平移滑块，在平移滑块上设有升降杆，升降杆的顶部穿过平移滑块，升降杆的底部连接有装夹斜板；在沙漏支撑架上设有升降滑块，在升降滑块上设有前后移动杆，前后移动杆穿过升降滑块，在前后移动杆的端部设有金刚沙漏。
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公开(公告)号：CN210089069U
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201920925144.6
申请日：2019-06-19
申请人： 上海强华实业股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种加工石英炉管的排风过滤系统，包括锥状抽风口、锥状送风口、抽风管道、送风管道、抽风机、送风机以及球形风口，抽风管道的一端连接抽风机，另一端连接锥状抽风口，送风管道的一端连接送风机，另一端连接锥状送风口，锥状送风口的直径大于锥状抽风口的直径，送风管道的直径大于抽风管道的直径，锥状抽风口和锥状送风口之间设有多个用于调节风向的球形风口。本实用新型一方面可及时将热量从抽风管道排出，保证工作区域的热量及时排出，另一方面利用输送的冷气流降低烧制产生的热能，从而达到降低局部工作区域温度的目的，可有效降温20℃以上，保持工作环境的洁净度并延长了设备的维修周期。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207834257U
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201721088756.1
申请日：2017-08-29
申请人： 上海强华实业股份有限公司
发明人： 周文华
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 一种晶圆酸洗槽系统，酸洗槽内设有石英托板，清洗花篮放置在所述石英托板，清洗花篮用于承载晶圆片，酸洗槽的底部设有喷淋管，喷淋管下弯连接一个带加热系统的升温管的出口端，升温管的进口端用于输入酸液，酸洗槽的底面呈现为倾斜状，酸液的流向侧壁设有第一排废管，酸洗槽的上部外套一个双层石英缸，双层石英缸用于承接酸洗槽溢出的酸液，双层石英缸的底部连接第二排废管，第一排废管和第二排废管汇接后连通起冷却作用的螺旋废液瓶的入口，螺旋废液瓶的外壁紧贴安装有螺旋石英管，螺旋废液瓶的出口用于酸液的回收。
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公开(公告)号：CN207247918U
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201721088082.5
申请日：2017-08-29
申请人： 上海强华实业股份有限公司
发明人： 周文华
摘要： 一种退火炉防污染结构，用于石英玻璃制品制造工艺，所述退火炉包括炉体，所述炉体内设有由保温层围成的炉膛，所述炉体上设有与炉膛连通的炉口，所述炉口上设有炉盖，所述炉膛内设有加热装置，所述加热装置连接有加热控制装置，所述加热装置包括并联在一起的四个加热硅碳棒单元，每个加热硅碳棒单元包括串联在一起的四根加热硅碳棒，所述保温层包括氧化锆纤维层，在所述硅碳棒外围套有石英管，该石英管将硅碳棒包裹住，在退火过程中起升温及保温的作用，同时隔离可挥发的污染物，保证退火工艺中的石英玻璃制品的纯度。
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公开(公告)号：CN207243721U
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201721088898.8
申请日：2017-08-29
申请人： 上海强华实业股份有限公司
发明人： 周文华
IPC分类号： C03B20/00
摘要： 一种石英熔接焊枪焊头，石英熔接焊枪焊头焊接在焊枪的石英主管头部，所述焊头由石英封底孔板和位于封底孔板圆周的石英挡边组成，石英封底孔板上打有多个小孔，石英主管用于焊枪通氢氧混合气体，焊头的石英挡边对氢氧混合气体进行限位作用，石英封底孔板对氢氧混合气体进行分流。石英封底孔板的中心位置打有中心孔，中心孔上焊接有中心喷管。
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