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公开(公告)号：CN101640163B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200910164913.6
申请日：2009-07-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯，抑制将电力供应给准分子灯的供电线与电极进行接合的连接部等的氧化等引起的劣化，提升可靠性，而且寿命长。本发明的准分子灯的一个电极配置于放电容器外部，在该放电容器内部封入有放电用气体，在与该一个电极成对的另一个电极之间配置有介质，在该一个电极及该另一个电极上连接有将电力供应给电极间的导线，将电力经由该导线、该电极、该介质供应给该放电用气体，其中，设有与该放电容器的一个端部连接的以至少5个面区划的空间，该空间通过隔壁与该放电容器隔离，在该空间的外面形成有与上述电极电连接的连接部，该导线经由焊锡连接在该连接部上。
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公开(公告)号：CN101661866B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN200910166640.9
申请日：2009-08-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 一种准分子灯，具备形成有剖面为矩形的管的放电容器，能够防止边缘部成为破损的起点而导致放电容器破裂。上述准分子灯(10)在放电容器(11)的放电空间(S)内产生准分子放电，在与端面(14a、14b)平行地切断的剖面中，与连接长边面(12a、12b)与短边面(13a、13b)的边缘部(16a、16b、16c、16d)相比，放电容器(11)的长边面(12a、12b)的中央部(18a、18b)朝向放电空间(S)内侧弯曲，在放电容器(11)的暴露于放电空间(S)的表面形成有紫外线反射膜(20)，该紫外线反射膜(20)在该边缘部侧的膜厚比该中央部侧厚。
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公开(公告)号：CN101794726B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010005407.5
申请日：2010-01-19
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 中谷猛
IPC: H01L21/683 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种工件台及使用该工件台的曝光装置，即使为已翘曲成碗形的工件或周边部呈波状变形的工件，也可矫正工件的翘曲，而吸附保持工件全面。本发明的工件台，通过真空吸附来吸附保持工件的工件台，其特征为具有：第1真空吸附孔群(61)，在吸附保持工件的工件台(6)表面，以放射状配置有多列由与第1配管相连接的多个真空吸附孔(X)所构成的真空吸附孔列；第2真空吸附孔群(Y)，形成于由第1真空吸附孔群(61)所隔着的区域，并与第2配管相连接；及控制部，在吸附保持工件时，由第1配管对第1真空吸附孔群(61)供给真空，接着，由第2配管对第2真空吸附孔群(62)供给真空。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101598923B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200910141130.6
申请日：2009-05-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种加热装置，能够对管型白炽灯进行定位，并且减少了作为固定体的螺钉。第1发明涉及的加热装置包括：管型白炽灯，其具有在中心轴上设置有灯丝的灯泡及与该灯丝的两端电连接的一对端子；和框架，具有保持该端子的灯保持部，上述加热装置的特征在于，该一方端子以如下方式固定在该一方灯保持部上：在该管型白炽灯的轴向上的移动及在与该轴向正交的方向上的移动被限制，该另一方端子以如下方式设置在另一方灯保持部上：在与该管型白炽灯的轴向正交的方向上的移动被限制，并且相对于该另一方灯保持部在该轴向上相对移动。
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公开(公告)号：CN103053007A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201180027275.9
申请日：2011-05-30
Applicant: 国立大学法人京都大学 , 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01L33/04 , F21K9/69 , H01J61/305 , H01J63/04 , H01J63/06
Abstract: 提供一种能够以小型、高效率发射紫外线的紫外线照射装置。该紫外线照射装置具备在以负压状态密封内部的、具有紫外线透过窗的容器内，具备半导体多层膜元件以及向该半导体多层膜照射电子束的电子束辐射源。另外，半导体多层膜元件具备由InxAlyGal-x-yN（0≤x＜1，0＜y≤1，x+y≤1）组成的单一量子阱结构或者多量子阱结构的活性层，通过来自上述电子束辐射源的电子束照射在上述半导体多层膜元件上的活性层上，紫外线从该半导体多层膜元件经由上述紫外线透过窗向外部辐射。另外，在假设电子束的加速电压为V（kV），上述活性层的厚度为t（nm）时，满足下式（1）。式（1）：4.18×V1.50≤t≤10.6×V1.54。
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公开(公告)号：CN103035531A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210369484.8
申请日：2012-09-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/336
Abstract: 本发明的技术问题在于在采用了非晶金属氧化物半导体的薄膜晶体管(TFT)的制造中将赋予氧化物以半导体特性的处理低温化并缩短处理时间。本发明进行包含工序A和工序B的处理：工序A即对工件台(8)上的工件(7)的非晶金属氧化物照射包含生成活性氧的波长范围和将上述氧化物活化而除去混入氧化物中的氢的波长范围的光；和工序B即在混入氧化物中的氢被除去且在氧化物附近生成了活性氧的状态下照射包含将氧化物加热的波长范围的光以促进氧向氧化物内的扩散。工序A通过照射包含波长为230nm以下的波长范围的光例如照射来自稀有气体荧光灯(10)或闪光灯的光来进行，工序B通过照射波长为800nm以上的波长范围的光例如照射来自闪光灯(20)的光来进行。
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公开(公告)号：CN102991886A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210303244.8
申请日：2012-08-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 一种灯包装箱，为包装放电灯，在外装箱体的内部具有一对灯支持件，上述放电灯具有：由发光部和该发光部的两端的密封部构成的发光管；以及安装在上述密封部的端部的灯头，在该灯包装箱中，防止因运送等情况下的振动、冲击而使灯支持点附近的发光管的密封部产生裂纹、破损。该包装箱的特征在于，上述灯支持件支持和发光管的密封部中的灯头相比靠发光部一侧的部分。
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公开(公告)号：CN101419895B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200810170064.0
申请日：2008-10-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的，是在于提供一种能够降低待机模式的待机功率，同时在处理模式时可以短时间起动，且不会中断地进行高输出亮灯的高压放电灯及高压放电灯装置。本发明的解决手段为，一种高压放电灯，具备：相对置地配置有一对的电极，并封入有水银的发光管；以及形成在上述发光管外侧的直管状的外管，以上述发光管的两端来固定上述外管的高压放电灯，其特征为：在上述发光管的外表面，或者上述外管的内表面，形成有凸部。
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