公开(公告)号：CN103438825A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201310354895.4

申请日：2013-08-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王宇航

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种角谱扫描照明阵列式共焦环形微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；该装置包括角谱扫描照明光路，从同心圆环光源发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后，平行照射到被测微结构样品表面；包括准共焦测量光路，成像部分采用针孔阵列配合图像传感器的结构；该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像，然后利用共焦三维测量原理，判断每个像素的轴向坐标，最后拟合出被测微结构样品的三维形貌；这种设计使被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度，提高探测信号强度，降低背景噪声，进而提高测量精度；同时实现高速测量。

公开(公告)号：CN103115585A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201310033302.4

申请日：2013-01-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王伟波 ,  张拓

IPC: G01B11/25

Abstract: 基于受激辐射的荧光干涉显微测量方法与装置属于表面形貌测量技术领域；该方法首先在被测件和参考镜表面镀膜，再经单色探测激光激发，最后解算探测面上的干涉条纹；该装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜、分光棱镜、参考聚焦物镜、参考镜和位移驱动器；配置在分光棱镜反射光路上的探测聚焦物镜和被测件；配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器；被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。

公开(公告)号：CN103105142A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201310033367.9

申请日：2013-01-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王伟波 ,  张拓

IPC: G01B11/24

Abstract: 基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜；配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、反射式物镜和被测件；配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、针孔和探测器；所述的探测器中含有窄带滤光片；所述的被测件表面采用真空蒸发镀膜法进行有机镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。

公开(公告)号：CN102867319A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201210361585.0

申请日：2012-09-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  赵烟桥 ,  刘俭

IPC: G06T11/00

Abstract: 子图像加权叠加的整幅单向运动离散退化图像构造方法属于一般的图像数据处理或产生领域中通过使用多于一幅图像的部分，尤其涉及一种离散运动模糊图像构造方法；该方法首先根据分辨率为M×N的原始图像沿其行或列方向运动n个像素的距离，构造出n个子图像figi(i＝1，2，…，n)，其中：如果原始图像沿行方向运动，则n＜N；如果原始图像沿列方向运动，则n＜M；再将得到的n个子图像按照如下公式进行加权线性叠加：式中，wi为加权系数，fig为构造出的离散退化图像；采用本发明的离散退化图像构造方法，不仅运算时间短，而且退化过程直观，便于理解，且无需对图像再调整。

公开(公告)号：CN102768024A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210244367.9

申请日：2012-07-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种基于分离反射镜组的共焦测量装置属于光学显微测量技术，包括激光器及依次配置在激光器直射光路上的准直扩束器、大数值孔径聚焦物镜、针孔、分光镜和三维位移载物台，在分光镜的折转光路上依次配置探测针孔和探测器；在激光器直射光路上还配置有由大口径椭球反射镜与补偿镜组构成的分离反射镜组，大口径椭球反射镜置于三维位移载物台上侧部位处，补偿镜组包括两片曲面反射镜，置于分光镜与三维位移载物台之间，分离反射镜组包括的三片反射镜顶部均开有通孔；本装置克服了现有椭球反射镜共焦测量方法视场小、大口径椭球反射镜难以加工的不足，利用补偿镜组矫正椭球反射镜的轴外像差并且降低其加工难度。

公开(公告)号：CN102651133A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201210084536.7

申请日：2012-03-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  赵烟桥 ,  刘俭

IPC: G06T7/20

Abstract: 基于长曝光成像的动目标模糊图像等效仿真方法与装置属于一般的图像数据处理或产生领域中运动分析部分；该方法根据真实目标运动模糊图像，反推得到另一组参数，调整代用目标光强及运动速度、代用光学系统横向放大率及图像传感器曝光时间，并调整灰度值，获得跟真实运动模糊图像相同的结果；该装置采用曝光时间可调并能够实现长曝光时间成像的图像传感器，配合能够在代用光学系统视场范围内垂直装置光轴方向做二维运动的代用目标；该方法和装置能够用低温目标或可见光目标等效代替高温目标，用低速运动配合长曝光时间等效代替高速运动，不仅使实验难度得到降低，实验安全性得到提高，而且容易获得多组实验数据，实验成本大幅降低。

公开(公告)号：CN102620912A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210085020.4

申请日：2012-03-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  赵烟桥 ,  刘俭

IPC: G01M11/02

Abstract: 利用点目标像拼合的光学系统横向放大率测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域；本方法使点目标处于不同视场下并对其两次成像，根据两幅点目标像构造出线状图像，在频域中寻找像素间距的取值范围，并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好，利用搜索算法计算得到光学系统横向放大率；本装置中承载点目标的滑块安装在第一导轨和第二导轨上，滑块在第一导轨上的运动与滑块在第二导轨上的运动相配合，使点目标在任意视场位置都准焦成像到图像传感器表面；采用本发明测量光学系统横向放大率，有利于减小单次测量结果之间的误差，进而提高测量结果重复性。

公开(公告)号：CN102620671A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210085054.3

申请日：2012-03-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  赵烟桥 ,  刘俭

IPC: G01B11/14

Abstract: 利用线光源的图像传感器像素间距测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域中用于计量长度、宽度或厚度的领域；本方法是以线光源为目标得到线状图像，在频域中寻找像素间距的取值范围，并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好，利用搜索算法计算得到像素间距；本装置在该装置光轴方向与图像传感器行或列方向所确定的平面内，线光源呈弯曲状，且所述的线光源上任意位置都准焦成像到图像传感器表面；采用本发明测量图像传感器像素间距，有利于减小单次测量结果之间的误差，进而提高测量结果重复性。

公开(公告)号：CN102607444A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210085062.8

申请日：2012-03-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  赵烟桥 ,  刘俭

IPC: G01B11/14

Abstract: 采用线光源的图像传感器像素间距测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域中用于计量长度、宽度或厚度的领域；本方法是以线光源为目标得到线状图像，在频域中寻找像素间距的取值范围，并根据与像素间距相关的实际调制传递函数曲线与理论调制传递函数曲线在最小二乘条件下重合度最好，利用遗传算法计算得到像素间距；本装置在该装置光轴方向与图像传感器行或列方向所确定的平面内，线光源呈弯曲状，且所述的线光源上任意位置都准焦成像到图像传感器表面；采用本发明测量图像传感器像素间距，有利于减小单次测量结果之间的误差，进而提高测量结果重复性。

公开(公告)号：CN102607442A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210084566.8

申请日：2012-03-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  赵烟桥 ,  刘俭

IPC: G01B11/14

Abstract: 基于匀速动点目标的图像传感器像素间距测量方法与装置属于以采用光学方法为特征的计量设备领域中用于计量长度、宽度或厚度的领域；本方法在点目标匀速运动状态下对其成像，得到线状图像，在频域中利用实际测量得到的调制传递函数值第一次达到极小值时所对应的频率与理论截止频率相等，计算得到图像传感器的像素间距；本装置中，承载点目标的滑块安装在第一导轨和第二导轨上，控制器控制滑块在第一导轨上匀速运动时，控制器控制滑块在第二导轨上运动，且两个方向的运动相配合，使点目标在运动过程中始终准焦成像到图像传感器表面；采用本发明测量图像传感器像素间距，有利于减小单次测量结果之间的误差，进而提高测量结果重复性。