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公开(公告)号：CN106524554B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201611154635.2
申请日：2016-12-14
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： F25B9/14
摘要： 本发明提供了一种适用于超高真空环境的紧凑型无液氦1K低温制冷装置，包括输气管、预冷端、防护罩、减压池以及抽气设备。实施本发明的有益效果是：1、防护罩减少了制冷机暴露在真空腔体中的表面积，可用于超高真空环境；2、以防护罩作为制冷工质的回流通道，提高了回流管道的流导，保证减压池中的液态制冷工质有较低的蒸气压，可以达到更低的制冷温度。3、在降温初期，该回流通道可充入氦气交换气，来对减压池部位快速降温，缩短降温时间。4、防护罩第二段的设计提高了整体的换热效率。5、该制冷设备具有结构紧凑、容易拆装维护、制冷量可调节等优点。
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公开(公告)号：CN114121592A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111260357.X
申请日：2021-10-28
申请人： 费勉仪器科技(南京)有限公司 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： H01J49/16
摘要： 本公开提供了一种真空光源，其特征在于，包括：光源，用于发射光；导光装置，用于与所述光源连接，包括：导光管，用于提供所述光源发射的光的传输通道；密封件，设置在所述导光管上，用于真空密封连接；以及透镜组件，与所述导光管密封连接。
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公开(公告)号：CN111940411A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010830627.5
申请日：2020-08-18
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种等离子消毒风淋室，包括风淋室、等离子发生装置和风道；其中，所述风淋室包括门，所述风道安装于所述风淋室侧壁，所述风道内设置有滤网，所述等离子发生装置位于所述风道内。其中本发明的有益效果是：通过等离子发生装置产生高浓度的等离子体，可以对进入风道内的空气进行消毒和杀菌，同时可有效消杀滤网上的病菌，解决传统风淋室高效滤网上病菌繁衍造成二次污染的问题，且不使用化学试剂等药物耗材，经济环保。
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公开(公告)号：CN111912688A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010834599.4
申请日：2020-08-18
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01N1/28
摘要： 本发明提供了一种超高真空下原位多功能样品处理装置，包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室、第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台、第二样品托停放台和多工位样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述第二样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置位于所述真空腔室侧方并与所述多工位样品托停放台固定连接。其中本发明的有益效果是：同时在同一装置中能够实现机械解理二维材料、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能中任一种功能，本发明适普性高，便于操作。
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公开(公告)号：CN111333034A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010151885.0
申请日：2020-03-06
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种液化型超高纯臭氧制备装置，用于解决现有技术中难以实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术问题，本发明包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽气模块、尾气处理模块。该装置采用斯特林制冷机降温，通过铜辫子传导热量，加上多重减震设计解决斯特林制冷机的振动问题，配备液化池温度控制模块用于控制和维持提纯温区，在一定的气压下，臭氧气体被液化，而氧气被抽气模块抽走，从而实现超高纯臭氧的制备。实施本发明的技术方案可实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术效果。
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公开(公告)号：CN110736851A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201911054289.4
申请日：2019-10-31
申请人： 费勉仪器科技(南京)有限公司 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01N35/10
摘要： 本发明提供了一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，用于解决现有技术中样品停放装置功能单一、停放数量少、操作繁琐、停放台材料放气严重的技术问题；样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置；实施本发明的技术方案，每个样品停放台可放置六个样品托，提高工作效率；通过弹片固定样品托，操作便捷；使用可调的弹片固定样品托，使装置适用不同类型的样品托；使用耐高温低蒸气压材料的弹片，减少放气；设置线性驱动器和旋转驱动器，样品托位置调节灵活。
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公开(公告)号：CN110487307A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910864549.8
申请日：2019-09-09
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01D5/34
摘要： 本发明提供了一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统，用于解决现有技术中过阀报警系统结构复杂、成本高昂、难以安装在真空管道内部的技术问题；一种报警电路，包括：阀信号电路、第一光电信号电路和第二光电信号电路；一种适用于真空管道系统的过阀报警系统，包括：阀状态检测模块、激光检测模块、报警电路和报警装置；实施本发明的技术方案，设置报警电路，接收阀门状态信息和光电信号，通过逻辑电路控制报警装置，无需设置单片机或工控机，系统结构简单，降低系统成本；真空管道设置视窗，通过光电门监控小车过阀状况，无需改变真空管道结构，易于安装；激光检测装置损坏也会引起报警器报警，系统可靠性高。
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公开(公告)号：CN110132436A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910440284.9
申请日：2019-05-24
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置，用于解决现有技术中更换样品操作复杂、周期长、不适用于空气敏感型样品、测温不准确等技术问题，包括：样品托和样品台；其中，样品托包括托架、固定板、压片、热偶正极、热偶负极和热偶固定架；热偶正极和热偶负极的一端向样品方向延伸，另一端弯折形成热偶连接端；样品台包括定位槽、正极热偶插片、负极热偶插片和热偶插片固定架；定位槽设置为当样品托插入固定时，热偶连接端同时插入正极热偶插片和负极热偶插片；实施本发明的技术方案可实现样品的重复利用、以及提高温度检测精度、快速更换样品、降低装置成本的技术效果。
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公开(公告)号：CN110117772A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910516095.5
申请日：2019-06-14
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： C23C14/30
摘要： 本发明提供了一种超稳定三电极电子束蒸发源，用于解决现有技术中电子束蒸发装置结构复杂、电子束源存在加热不均匀、蒸发材料容易污染灯丝、电子束轨迹控制方法复杂的问题，包括：靶材、灯丝和支撑基座；其中，靶材固定至支撑基座；灯丝为耐高温金属材料，固定至支撑基座，设置于靶材上方，灯丝接通负电；实施本发明的技术方案，在靶材和灯丝间设置反射板，可便捷地实现对电子束轨迹的控制，并且减缓灯丝被污染的速度、延长装置寿命、简化装置结构、降低装置的放气率；反射板接通负电并且负电电压设置为可连续调节的，利于实现靶材端部的匀速蒸发，增加蒸发源适用的靶材种类、提高装置兼容性。
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