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公开(公告)号：CN110902641A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201910499886.1
申请日：2019-06-11
Applicant: 三星电机株式会社
Inventor： 李泰勳 , 金光洙 , 金泰润
IPC: B81B7/00
Abstract: 本公开提供一种微机电系统器件，所述微机电系统器件包括：基板；微机电系统元件部，设置在所述基板的表面上；盖，具有形成为与所述微机电系统元件部相对的腔；以及扩散防止层，形成在所述盖的至少部分上，其中，所述盖和所述基板中的至少一个包括设置在所述腔的外部的结合层，并且其中，所述盖包括设置在所述结合层与所述腔之间并且截面呈V形的蔓延防止部。
