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公开(公告)号：CN100535176C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200610002584.1
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor： 郑星和 , 姜有珍
IPC: C23C14/24 , C23C14/54 , C23C14/56
Abstract: 本发明公开了用于沉积系统的装置，包括将驱动轴与沉积材料之间密封以避免沉积材料粘在驱动轴上的密封装置，降低支架在驱动轴上的重量的移动装置，和测量支架和相邻物之间距离的碰撞防止装置。
