公开(公告)号：CN108473306B

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN201680076340.X

申请日：2016-11-14

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中川雄介 ,  松浦洋航 ,  和田升 ,  中村保博

IPC: C01B13/10 ,  B01D53/04 ,  B01D53/047

Abstract: 臭氧供给装置包括臭氧产生器(2)、吸附塔(3)、待机部(7)、减压装置(8)、臭氧供给部(9)、低温制冷剂循环器(5)和控制部(10)，所述控制部(10)使生成的臭氧化气体吸附于冷却后的吸附剂(4)，将吸附于吸附剂(4)的臭氧化气体解吸并浓缩，控制部(10)使自吸附塔(3)的吸附剂(4)解吸出来的臭氧化气体在待机部(7)待机的待机状态时的吸附塔(3)内的压力低于吸附时的吸附塔(3)内的压力。

公开(公告)号：CN113924166A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN201980097091.6

申请日：2019-06-10

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 清水彰则 ,  中村保博 ,  弓削政郎 ,  松浦洋航

IPC: B03C3/68

Abstract: 集尘器具具备：多个捕集板，所述多个捕集板在空气通过的风路内在与空气的通过方向交叉的方向上隔开间隔地排列，并通过摩擦而带电；摩擦体，所述摩擦体与捕集板接触并摩擦捕集板；以及驱动控制部，所述驱动控制部基于通过捕集板的空气的湿度，控制捕集板与摩擦体的相对移动，能够抑制捕集板的带电量的下降，并高效地进行集尘。

公开(公告)号：CN113614031A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN201980094536.5

申请日：2019-03-29

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 松浦洋航 ,  和田升

IPC: C01B13/10

Abstract: 在之前的供给工序时残留的高浓度臭氧在接下来的吸附工序时漏出而被废弃。因此，本发明具备：第一吸附解吸塔(3a)及第二吸附解吸塔(3b)；将从第一吸附解吸塔(3a)排出的气体向装置外排出的排气用气体回路(R0)；使从所述第一吸附解吸塔(3a)排出的气体通过第二吸附解吸塔(3b)之后向装置外部排出的吸附回收用气体回路(R1)；切换排气用气体回路(R0)和吸附回收用气体回路(R1)的流路的回路切换器(5)；以及根据第一吸附解吸塔(3a)的状态和第二吸附解吸塔(3b)的状态控制回路切换器(5)的开闭的控制部(6)。

公开(公告)号：CN112203974A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN201880089807.3

申请日：2018-06-07

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 松浦洋航 ,  和田升 ,  生沼学

IPC: C01B13/10

Abstract: 进行使吸附解吸塔(4)的第一吸附解吸区域(5a)及第二吸附解吸区域(5b)吸附在臭氧产生部(2)中产生的臭氧化气体的吸附动作、使臭氧化气体从第一吸附解吸区域(5a)解吸并由第二吸附解吸区域(5b)吸附而回收的浓缩动作以及一边输送来自原料气体源(1a)的原料气体一边使利用第二吸附解吸区域(5a)回收的臭氧化气体解吸并从第一吸附解吸区域(5a)供给到吸附解吸塔(4)的外部的供给动作。