一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113325198A

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN202110640448.X

    申请日:2021-06-09

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 聂萌 王旭 李可

    Abstract: 本发明公开了一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法,传感器包括柔性衬底、柔性密封顶盖、S形加热元件、S形感温元件以及吸热薄层;柔性顶盖设置于柔性衬底上,两者之间形成密封腔体;S形加热元件固定在密封腔体内的柔性衬底中央;两个S形感温元件固定在密封腔体内的柔性衬底上,并对称分布在S形加热元件的两侧;吸热薄层紧密贴附于密封腔体内部的S形加热元件上;其中,柔性密封顶盖带有热绝缘岛结构,两个热绝缘岛结构沿长轴线对称分布在柔性密封顶盖的顶部内侧面上,并分布于S形加热元件与S形感温元件之间的上方。本发明的加速度传感器适用于柔性设备,并具有灵敏度高、响应时间快、功耗低的特点。其制备方法简便,成本低廉,可大规模制备。

    一种基于光谱吸收的温度场和浓度场重建的交替迭代算法

    公开(公告)号:CN105678086A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610018553.9

    申请日:2016-01-12

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G16Z99/00

    Abstract: 本发明公开了一种基于光谱吸收的温度场和浓度场重建的交替迭代算法,首先对浓度场的计算提出了线性化方案,将原系统半线性化,从而弱化了原系统的非线性;其次对待测温度场、浓度场提出了交替迭代方案,每一步迭代降低一半的未知变量个数;最后,用优化技术引入惩罚项来克服重建过程的病态性,在每一步迭代时能自动调整正则化参数,保证了迭代解收敛于精确解。本发明提出的交替迭代方案在保持重建精度的前提下,能够显著地缩短计算时间,并且适用于大规模的场反演计算。

    一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113325198B

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202110640448.X

    申请日:2021-06-09

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 聂萌 王旭 李可

    Abstract: 本发明公开了一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法,传感器包括柔性衬底、柔性密封顶盖、S形加热元件、S形感温元件以及吸热薄层;柔性顶盖设置于柔性衬底上,两者之间形成密封腔体;S形加热元件固定在密封腔体内的柔性衬底中央;两个S形感温元件固定在密封腔体内的柔性衬底上,并对称分布在S形加热元件的两侧;吸热薄层紧密贴附于密封腔体内部的S形加热元件上;其中,柔性密封顶盖带有热绝缘岛结构,两个热绝缘岛结构沿长轴线对称分布在柔性密封顶盖的顶部内侧面上,并分布于S形加热元件与S形感温元件之间的上方。本发明的加速度传感器适用于柔性设备,并具有灵敏度高、响应时间快、功耗低的特点。其制备方法简便,成本低廉,可大规模制备。

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