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公开(公告)号:CN101504426A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200910116228.6
申请日:2009-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C5/00
CPC classification number: G01P2015/082
Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计,包括有基片,基片上有敏感质量块,所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿,所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿,所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架,所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称,其另一端连接至基片上。本发明体积小,重量轻,可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
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公开(公告)号:CN101067616A
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200710023322.8
申请日:2007-06-06
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了纵向高场不对称波形离子迁移谱装置,包括介质阻挡放电离化源、屏蔽电极、检测仪。介质阻挡放电离化源包括阻挡介质,即硼硅玻璃及镀于硼硅玻璃上的离化电极和离化电路,屏蔽电极置有分别平行镀于硼硅玻璃上的离化迁移内屏蔽电极、离化迁移外屏蔽电极和迁移检测屏蔽电极。进气样品通过介质阻挡放电离化源被离化、然后进入离子迁移管被分离、最后到达检测仪被检测到。本发明通过集成高离化率的离化源,通过改变装置结构以缩短离子复合时间,使得到达检测区的离子数大幅度增加,并比较容易地被检测到,提高了装置的灵敏度,另一方面通过使用屏蔽电极消除了介质阻挡放电离化源、离子迁移管、检测仪之间的相互影响,提高了装置的稳定性。
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