公开(公告)号：CN1382827A

公开(公告)日：2002-12-04

申请号：CN02118053.9

申请日：2002-04-22

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： M·A·马库斯 ,  A·L·赫里钦 ,  S·A·范 ,  斯利克

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/54 ,  H01L33/00

CPC classification number: H01L51/001 ,  C23C14/12 ,  C23C14/546 ,  G01B7/066 ,  H01L51/5012

Abstract: 本发明涉及在制造有机发光装置中对有机材料的沉积进行控制的方法,所述方法包括:在沉积区沉积有机材料以形成有机发光装置的层;设置可移动的传感器,当所述传感器移动到沉积区中并在沉积步骤中被覆盖时提供表示形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度的信号。所述方法还包括:根据所述信号控制有机材料的沉积以控制形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度;将可移动的传感器从沉积区移动到清洁位置;以及去除可移动的传感器上的有机材料以使可移动的传感器能够重复使用。