玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法

    公开(公告)号:CN113227000A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201980079132.9

    申请日:2019-12-04

    Inventor: 守屋知巳

    Abstract: 一种在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置,具备:燃烧器,其喷射原料气体以合成玻璃微粒;移动机构,其配置有燃烧器,并使燃烧器随着玻璃微粒沉积体的直径增大而后退;气化器,其以与燃烧器一体地同时后退的方式配置在移动机构中,并使液体的硅氧烷气化以成为原料气体;配管,其将原料气体从气化器供给到燃烧器;以及加热机构,其在230℃以上的加热温度下加热配管。

    排气装置及排气方法
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111265956A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201911218823.0

    申请日:2019-12-03

    Inventor: 守屋知巳

    Abstract: 本发明提供一种用于玻璃微粒沉积体制造装置的排气装置及排气方法,其有效地从来自反应容器的废气中回收硅氧烷,并且检测残留在废气中的硅氧烷的气体检测器的检测性能不会降低。排气装置(1)经由排气线路而将废气从以硅氧烷作为原料来制造玻璃微粒沉积体G的反应容器(100)中排出至废气处理装置(200),具有:原料回收部(10),其设置于排气线路中,并且回收废气中所含的原料;去除机构(20),其设置于排气线路中的原料回收部(10)的后段,并且除去废气中所含的玻璃微粒和水分以用于浓度检测;以及气体检测器(30),其利用经由去除机构(20)而被除去了玻璃微粒和水分的浓度检测用气体来检测原料浓度。

    玻璃微粒沉积体制造用的原料供给装置及原料供给方法

    公开(公告)号:CN113165932B

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN201980077428.7

    申请日:2019-12-04

    Inventor: 守屋知巳

    Abstract: 一种原料供给装置,其将制造玻璃微粒沉积体的原料向燃烧器供给,该原料供给装置具有:原料罐;液体原料配管,其一端与原料罐连接;液体原料压送泵,其从原料罐经由液体原料配管对液体原料即硅氧烷进行压送;压力调整阀,其设置于液体原料配管中的液体原料压送泵的次级侧;液体用MFC,其与液体原料配管的另一端连接;以及汽化装置,其与液体用MFC的次级侧连接,将液体原料汽化,压力调整阀的次级侧的配管与比初级侧的压力低的压力的部位连接。

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