公开(公告)号：CN104030230B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201410071664.7

申请日：2014-02-28

Applicant: 先技股份有限公司

Inventor： 刘茂诚 ,  吕柏纬 ,  周文介 ,  翁淑怡 ,  王竣傑

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81C1/00682

Abstract: 本发明公开一种微机电装置，包括一梁柱体、一支撑体、及一接合物。梁柱体具有一第一侧与一第二侧，且第一侧与第二侧彼此相对。支撑体用以支撑梁柱体且相邻但不相连于梁柱体，此支撑体具有一第三侧与相对于第三侧的一第四侧，且支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层，这些第一束缚层与这些第二束缚层彼此交错相叠，其中第二侧与第三侧彼此相邻。接合物位于第二侧与第三侧之间、第一侧、及第四侧，此接合物用以接合并绝缘梁柱体与支撑体。本发明的微机电装置增强结构的强度，并使结构稳定、坚固且不变形，可有效改善其灵敏度，以进而提升于微机电的应用范围。

公开(公告)号：CN104030230A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410071664.7

申请日：2014-02-28

Applicant: 先技股份有限公司

Inventor： 刘茂诚 ,  吕柏纬 ,  周文介 ,  翁淑怡 ,  王竣傑

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81C1/00682

Abstract: 本发明公开一种微机电装置，包括一梁柱体、一支撑体、及一接合物。梁柱体具有一第一侧与一第二侧，且第一侧与第二侧彼此相对。支撑体用以支撑梁柱体且相邻但不相连于梁柱体，此支撑体具有一第三侧与相对于第三侧的一第四侧，且支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层，这些第一束缚层与这些第二束缚层彼此交错相叠，其中第二侧与第三侧彼此相邻。接合物位于第二侧与第三侧之间、第一侧、及第四侧，此接合物用以接合并绝缘梁柱体与支撑体。本发明的微机电装置增强结构的强度，并使结构稳定、坚固且不变形，可有效改善其灵敏度，以进而提升于微机电的应用范围。