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公开(公告)号：CN109468583B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201810694337.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号：CN110144547A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN107849682B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201780002450.6
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN106350768A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610561108.7
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/24
Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。
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公开(公告)号：CN116926466A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310870828.1
申请日：2020-03-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及一种蒸镀掩模中间体，具备：铁‑镍系合金制的多个掩模板，包括多个掩模孔，具有第1面以及第2面，该第2面是与上述第1面相反侧的面，用于与蒸镀对象接触；掩模框架，具有比上述掩模板高的刚性，且具有多个开口，该掩模框架以各掩模板覆盖1个上述开口的方式与上述掩模板的上述第1面接合；多个树脂层，各一个树脂层与上述掩模板的上述第2面接合；以及多个玻璃基板，各一个玻璃基板与各树脂层接合，在25℃以上100℃以下的温度范围内，各玻璃基板的线膨胀系数小于层叠于该玻璃基板的上述掩模板的线膨胀系数，且各玻璃基板的线膨胀系数与层叠于该玻璃基板的上述掩模板的线膨胀系数之差的绝对值为1.3×10‑6/℃以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115094375A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210766476.0
申请日：2018-03-22
Applicant: 凸版印刷株式会社
Inventor： 新纳干大
Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法，能够提高通过蒸镀形成的图案的精度。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向DW的形状彼此不同，各形状为具有在金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，金属板的表面上的宽度方向DW的长度为表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离中的最小值为最小表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离与最小距离之差相对于最小表面距离的比率为宽度方向上的伸长差率，宽度方向上的伸长差率的最大值为2×10－5以下。
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公开(公告)号：CN109440060B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201811311762.8
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。
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公开(公告)号：CN110144547B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀领域中使用的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN111575647A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010540876.0
申请日：2018-03-22
Applicant: 凸版印刷株式会社
Inventor： 新纳干大
IPC: C23C14/04 , C23C14/24 , C25D3/12 , C25D7/00 , C21D1/26 , C21D8/02 , C21D9/00 , C23F1/28 , C22C38/04 , C22C38/52 , C21D6/00
Abstract: 提供一种能够提高通过蒸镀形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向的形状互不相同；各形状具有在金属板的宽度方向DW上反复的波；从波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；波的高度相对于波的长度的百分率是单位陡峭度；长度方向DL上的金属板的单位长度是500mm；单位长度的金属板中的单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；第1陡峭度是0.5％以下。
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公开(公告)号：CN107406963B
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201680012997.X
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。
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