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公开(公告)号：CN202905652U
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201220331183.1
申请日：2012-07-05
Applicant: 北京滨松光子技术股份有限公司
IPC: H01J9/385
Abstract: 本实用新型涉及一种用于光电倍增管的排气台，包括载物台、真空计、主控阀、真空泵、机械泵、供气阀、工作气体和温度控制系统，所述排气台还包括程序控制系统，所述主控阀和供气阀为电磁阀门，所述真空泵为分子泵。本实用新型的排气台使用方式灵活、工作效率高，并且能够对排气台内各种气体的进气量进行严格控制。
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