一种简化的钨钛合金薄膜光刻工艺

    公开(公告)号:CN103233229A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310104553.7

    申请日:2013-03-28

    Inventor: 徐立新 王刚 王婷

    Abstract: 本发明公开的一种简化的钨钛合金薄膜光刻工艺,属于微机电系统制造工艺领域。本发明使用正光刻胶作为赋形层,取消了一般工艺中的铝赋形层,通过控制匀胶与烘胶参数与环境,将光刻胶层在紫外线下曝光显影,生成适用于双氧水刻蚀的赋形层。通过控制双氧水刻蚀液的温度,使钨钛合金薄膜在冷双氧水中完全刻蚀而不影响光刻胶层的保护能力。使用该工艺刻蚀生成的钨钛合金结构图形分辨率优于2微米。本发明公开的钨钛合金光刻工艺实现高精度的钨钛合金薄膜的光刻,提高了钨钛合金薄膜的适用范围,消除了传统钨钛合金光刻中的铝赋形层引入的精度误差与工艺复杂性,改善了光刻精度与可靠性。有助于提高使用钨钛合金结构的微机电系统器件制造的成功率。

    一种基于线性约束矫正网络的场景文字识别方法

    公开(公告)号:CN113435436A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110619690.9

    申请日:2021-06-03

    Abstract: 本发明公开了一种基于线性约束矫正网络的场景文字识别方法,属于图像文本识别检测技术领域。本方法通过卷积网络对文本图像提取几何特征,得到空间变换参数,基于空间变换网络得到的参数,对倾斜文本图像进行分割,得到水平文本图像;利用校正后水平文本图像进行文字识别,提取图像特征。利用序列编解码网络和注意力机制进行文字识别,得到识别后的文本序列。将预测输出与目标进行损失计算,并更新网络参数。本方法矫正所需空间变换参数更灵活,可实现更复杂变换。空间变化网络输出的控制点被约束在一系列间距相同的边上,矫正后的图片更平滑,减少对后续任务的干扰。空间变换网络与特征提取层共享参数信息,在减少参数量的同时,提高了模型表现。

    增益在线调整方法及使用其的阻尼回路控制方法

    公开(公告)号:CN113064443A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202110251210.8

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种增益在线调整方法及使用其的阻尼回路控制方法,该方法可根据实时飞行状态测量结果进行实时在线参数调整,调整后的阻尼回路驾驶仪能够更好的克服原有缺点,提升控制准确性和稳定性,所述阻尼回路驾驶仪中的驾驶仪参数通过基于动压参数的指数函数实时获得;其中,在选定合适的指数曲线参数时,该曲线的变化规律与飞行器飞行过程中由于高度、空气密度、温度、速度等造成的动压变化曲线非常类似;从而无论飞行器从何种高度发射,无论飞行器处于何种高度状况,都能够实时获得行之有效的驾驶仪参数,从而确保阻尼回路的稳定可靠。

    一种火工驱动活塞式微作动器

    公开(公告)号:CN103673794B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310468248.6

    申请日:2013-10-09

    Abstract: 本发明涉及一种活塞式微作动器,其包括半导体桥发火组件、电热敏感发火药、台阶式活塞、管壳等。活塞微作动器是一种火工作动装置,同时也是一种做功火工品。发火组件装配在管壳一端并与管壳密封连接,电热敏感发火药装填在活塞圆筒形药室内,活塞采用过盈配合装配在管壳内。作用时,发火组件点燃电热敏感发火药产生大量气体,推动活塞在短时间内产生可靠的推力。该活塞式微作动器可作为微机电系统解除保险装置,兼顾了小尺寸、发火能量低、抗电磁环境等特性,具有良好的应用前景。

    一种微型火工作动装置的高精度动态推力测试方法

    公开(公告)号:CN104655343A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201510067138.8

    申请日:2015-02-09

    Abstract: 本发明公开了一种微型火工作动装置的高精度动态推力测试方法,基于悬臂梁式应变传感器的应变测试原理,通过静态标定悬臂梁在弹性变形阶段的应力-应变曲线,获得悬臂梁应力与应变传感器应变量的对应关系,设计一种悬臂梁来安装固定传感器,应用合适的数据采集系统,精确测量微型火工作动装置动态的推力-行程关系。与传统的向上推动重物法、压力传感器法等推力测量方法相比,本发明具有一次推力测量可获得全行程的推力-时间变化关系,对被测样品的推力干扰影响小、测量精度高等特点。依据本发明的原理还可应用于各种尺寸和推力的火工作动装置运动部件的推力测量。

    一种火工驱动活塞式微作动器

    公开(公告)号:CN103673794A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310468248.6

    申请日:2013-10-09

    Abstract: 本发明涉及一种活塞式微作动器,其包括半导体桥发火组件、电热敏感发火药、台阶式活塞、管壳等。活塞微作动器是一种火工作动装置,同时也是一种做功火工品。发火组件装配在管壳一端并与管壳密封连接,电热敏感发火药装填在活塞圆筒形药室内,活塞采用过盈配合装配在管壳内。作用时,发火组件点燃电热敏感发火药产生大量气体,推动活塞在短时间内产生可靠的推力。该活塞式微作动器可作为微机电系统解除保险装置,兼顾了小尺寸、发火能量低、抗电磁环境等特性,具有良好的应用前景。

    一种低发火电压的微型雷管

    公开(公告)号:CN103499253A

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201310468225.5

    申请日:2013-10-09

    Abstract: 本发明专利公开了一种低发火电压的微型雷管,主要包括脚线、陶瓷电极塞、管壳、半导体桥芯片、发火药、起爆药、猛炸药。将HMX猛炸药和羧甲基纤维素叠氮化铅起爆药依次压入管壳中以增加微型雷管轴向输出威力,通过管壳收口工艺和口部涂密封胶使半导体桥发火组件固定在管壳的口部。采用本发明的微型雷管的技术指标特征是最小全发火电压低至3.83V(10μF),最小全发火能量为0.074mJ,安全电流不小于200mA,雷管尺寸不大于Ф2.5×4mm,用锰铜压力计法测试雷管输出爆压,得到微型雷管的输出威力最大到达10~12GPa,与现有桥丝式电雷管的技术指标相比,其综合性能得到提高。本发明适用于低发火电压的微机电系统的传爆序列设计。

    一种用于增强人体跳跃能力的无源下肢外骨骼

    公开(公告)号:CN115847376A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211519724.8

    申请日:2022-11-30

    Abstract: 本发明涉及人体外骨骼技术领域,具体为一种用于增强人体跳跃能力的无源下肢外骨骼,可实现对下肢触地时足部地反力做功的多次储存。本发明的装置由腰部组件、大腿组件、小腿组件、足部组件、离合组件及储释能组件构成,通过腰部组件、大腿组件、小腿组件、足部组件与人体体段的连接完成外骨骼的穿戴,通过足部组件中的推杆实现对足部触地动作的响应,驱动离合组件和储释能组件完成相应动作,同时实现弹性能的多次储存‑单次释放和下肢关节自由‑受限状态的转换,增强人体跳跃能力的同时减小人体穿戴外骨骼后的人机对抗不适感。该发明结构简单、成本低廉、工作稳定,适于在工作环境复杂、可靠性要求高的场景中进行应用。

    增益在线调整方法及使用其的阻尼回路控制方法

    公开(公告)号:CN113064443B

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202110251210.8

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种增益在线调整方法及使用其的阻尼回路控制方法,该方法可根据实时飞行状态测量结果进行实时在线参数调整,调整后的阻尼回路驾驶仪能够更好的克服原有缺点,提升控制准确性和稳定性,所述阻尼回路驾驶仪中的驾驶仪参数通过基于动压参数的指数函数实时获得;其中,在选定合适的指数曲线参数时,该曲线的变化规律与飞行器飞行过程中由于高度、空气密度、温度、速度等造成的动压变化曲线非常类似;从而无论飞行器从何种高度发射,无论飞行器处于何种高度状况,都能够实时获得行之有效的驾驶仪参数,从而确保阻尼回路的稳定可靠。

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