一种光辐照悬空电容的装置

    公开(公告)号:CN207895147U

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201820201312.2

    申请日:2018-02-06

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种光辐照悬空电容的装置,包括:用于承载悬空电容样品的无氧铜腔体;用于承载所述无氧铜腔体的支撑装置;光纤移动装置;其中,所述无氧铜腔体固定在支撑装置上,无氧铜腔体内部安放悬空电容样品;所述支撑装置固定在CCD平台的基座上;所述光纤移动装置固定在CCD平台的移动平台上,且位于无氧铜腔体的下方。本实用新型还公开了一种光辐照悬空电容的方法。本实用新型很方便地实现了将平行光束对准微尺度的悬空电容。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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