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公开(公告)号：CN211453218U
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202020039078.5
申请日：2020-01-09
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种考虑力传感器变形的原位压痕测试装置，测试装置包括z轴精密定位单元、压痕力加载及检测单元、压入深度检测单元、两自由度粘滑式压电精密定位平台。压痕力加载及检测单元安装在z轴精密定位单元上，压入深度检测单元安装在压痕力加载及检测单元上，两自由度粘滑式压电精密定位平台安装在z轴精密定位单元上。优点在于：装置考虑了力传感器的变形，通过力传感器和电容式位移传感器的合理布置方式，从结构上避免了由于力传感器变形带来的测量误差，可以得到更精确的压痕深度值，提高了测试精度。装置结构紧凑、尺寸小，具有大范围高精度的二自由度定位能力，可以方便地安装在扫描电子显微镜内对材料进行原位压痕测试。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210908792U
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201921593206.4
申请日：2019-09-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种时序控制表面微结构阵列加工装置，加工装置包括基础支撑单元、z轴调整单元、试件精密定位单元以及加工主运动产生单元。z轴调整单元和试件精密定位单元安装在基础支撑单元上，加工主运动产生单元安装在z轴调整单元上，试件通过熔融石蜡粘附到试件精密定位单元的导轨滑块组件上。通过控制加工主运动产生单元、x轴精密定位单元及y轴精密定位单元的压电叠堆间的驱动电压时序，实现加工工具头与试件的时序接触与分离，从而在试件表面形成可控表面微结构阵列。优点在于：本装置利用时序控制方法，加工微结构形状、大小、间距可方便控制，加工过程简单、高效，在调控材料表面光学、摩擦学、润湿性等功能方面具有潜在应用前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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