公开(公告)号：CN210269909U

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201920353901.7

申请日：2019-03-19

申请人： 广州市本原纳米仪器有限公司

发明人： 吴浚瀚

IPC分类号： G01Q60/12

摘要： 本实用新型公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，包括物镜组件和设置在样品上方的探头装置，所述物镜组件位于探头装置上方；所述探头装置包括激光器、微悬臂探针和激光接收器；所述激光器发射的激光经过微悬臂探针的悬臂梁背面反射后被激光接收器接收。本实用新型的物镜组件完全处于探头装置上方，因此不会影响到物镜组件的物镜切换，从而实现了与常规光学显微镜的联用，并且探头装置仅包括了激光器、微悬臂探针和激光接收器，内部构造简单，且不会降低入射激光的光强和样品观测的分辨率。本实用新型作为一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置可广泛应用于扫描探针显微镜等纳米表征领域中。

公开(公告)号：CN216209253U

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202122517604.1

申请日：2021-10-19

申请人： 广州市本原纳米仪器有限公司

发明人： 吴浚瀚

IPC分类号： G01Q60/00

摘要： 本实用新型公开了一种扫描探针显微镜，包括扫描组件和驱动部件，扫描组件包括扫描探针组件和光学显微镜组件，扫描探针组件包括支撑部件、设置在支撑部件上的检测头、与检测头位置相对应的扫描台；光学显微镜组件包括支架和设置在支架上的光学显微镜，光学显微镜设置在检测头上方。扫描探针组件与光学显微镜组件分体设置，探测头由支撑部件独立支撑，能够实现检测头轻量化和微型化，因此检测头相对支撑部件的结构刚性和固有频率显著提高，有效提升了扫描探针组件的稳定性；光学显微镜由支架独立支撑，提升了光学显微镜组件的灵活性，可以根据实际应用领域选配最合适的光学显微镜。

公开(公告)号：CN206848303U

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201720693515.3

申请日：2017-06-14

申请人： 广州市本原纳米仪器有限公司

发明人： 吴浚瀚

IPC分类号： G01Q60/00 ,  G01N29/06 ,  G01N29/44

摘要： 本实用新型公开了一种多频扫描探针声学显微镜系统，包括多个声学信号源、多路信号叠加模块、声学换能器、扫描器、微悬臂探针、光电检测系统、多个相干检测解调模块和扫描探针显微镜控制系统，低通滤波器的输入端与光电检测系统的输出端连接，低通滤波器的输出端与反馈控制模块的输入端连接，反馈控制模块的输出端分别与样品表面形貌图显示模块的输入端以及扫描器的输入端连接，各声学信号图显示模块的输入端与各相干检测解调模块的输出端对应连接。本实用新型能驱动声学换能器产生多个不同频率的声激励信号，只需一次扫描成像就可得到多种频率的样品声学信号，检测效率高，且能实时得到样品的全部结构信息。本实用新型可广泛应用于显微镜领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利