含硼的非晶质二氧化硅粉体和其制造方法

    公开(公告)号:CN116234772A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202180065653.6

    申请日:2021-09-21

    Abstract: 本发明提供:低温烧结性比以往还优异的含硼的非晶质二氧化硅粉体。本发明为一种含硼的非晶质二氧化硅粉体,其特征在于,其为包含硼原子的非晶质二氧化硅粉体,该含硼的非晶质二氧化硅粉体的由在透射型电子显微镜照片中随机选出的40个颗粒求出的平均粒径为10~100nm,在下述条件下进行烧成时的硼含量的减少率为10质量%以下。<烧成条件>将干燥物5~10g填充至氧化铝制坩埚,在大气气氛中、以200℃/小时升温至1000~1100℃,在此状态下保持5小时后降温至室温。

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