公开(公告)号：CN117458254A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311395229.5

申请日：2023-10-25

Applicant: 山东大学

Inventor： 杨克建 ,  周雪 ,  聂鸿坤 ,  张百涛 ,  李涛 ,  何京良

IPC: H01S3/16 ,  H01S3/115

Abstract: 本发明属于全固态激光技术领域，具体涉及一种基于Tm3+掺杂晶体的三波长中红外固体激光器及工作方法。所述三波长中红外固体激光器具有连续工作模式和脉冲工作模式，所述三波长中红外固体激光器包括沿光路布置的泵浦激光器、光束准直聚焦系统、谐振腔和二向色镜；当所述三波长中红外固体激光器处于脉冲工作模式时，于谐振腔中设置电光调Q系统。基于Tm3+离子3F4→3H6、3H4→3H5以及3H5→3F4三能级之间的跃迁，利用～1.9μm、～2.3μm以及～3.8μm级联激光振荡的能级调控手段，能够有效提高量子效率，降低激光晶体热效应，实现三波长的中红外连续和脉冲激光高效运转。本发明可利用一台激光器同时灵敏监测多种气体，具有结构紧凑、价格低廉的优势，能够极大地促进气体检测技术的发展。

公开(公告)号：CN115332919A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202211039745.X

申请日：2022-08-29

Applicant: 山东大学

Inventor： 杨克建 ,  毛佳佳 ,  聂鸿坤 ,  张百涛 ,  李涛 ,  何京良

IPC: H01S3/06 ,  H01S3/081 ,  H01S3/0941 ,  H01S3/098 ,  H01S3/11

Abstract: 本发明属于全固态激光领域，提供了一种晶体串联振荡锁模激光器及其工作方法，包括第一光路和第二光路，其中，所述第一光路上依次布设第一泵浦源、第一聚焦耦合系统、输入镜以及第一激光晶体；所述第二光路上依次布设第二泵浦源、第二聚焦耦合系统以及二向色镜、第二激光晶体以及第一折叠镜；所述第一光路的垂直于第二光路；所述第一折叠镜改变第二光路的传输方向反射到第二聚焦耦合系统下方的输出镜上；所述第一折叠镜的下方还设置有第二折叠镜；所述第二折叠镜的左下方还有锁模元件。通过两台半导体激光器泵浦两块增益晶体，成功实现全固态晶体串联振荡锁模脉冲激光输出，晶体串联振荡锁模适应多种增益晶体，实现多种波长锁模脉冲激光输出。

公开(公告)号：CN114295583A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202111421377.0

申请日：2021-11-26

Applicant: 中国地质调查局水文地质环境地质调查中心 ,  山东大学

Inventor： 夏金宝 ,  史彦新 ,  张百涛 ,  董翰川 ,  何京良

IPC: G01N21/45

Abstract: 本发明涉及一种温室气体的相干测量装置，包括：光学频率梳光源、半波片、四分之一波片、光纤环形器、光学扩束镜、单模光纤偏振控制器、二氧化碳激光器、甲烷激光器、光学开关、光纤合束器、光电探测器、滤波器、数据采集与处理器和反射镜。所述光学频率梳光源、半波片、四分之一波片、光纤环形器、光学扩束镜依次连接，所述光纤环形器、单模光纤偏振控制器、光纤合束器、光电探测器、滤波器、数据采集与处理器依次连接，所述二氧化碳激光器、甲烷激光器均与光学开关连接，所述光学开关与光纤合束器连接；所述数据采集与处理器与二氧化碳激光器、甲烷激光器连接，所述反射镜用于接收光学扩束镜发射的激光。本发明的测量装置具有测量范围广、测量距离远的特点。

公开(公告)号：CN113628960A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202110855731.4

申请日：2021-07-28

Applicant: 山东大学

Inventor： 张雷 ,  刘磊 ,  张百涛 ,  王国栋 ,  叶帅 ,  何京良 ,  徐明升 ,  俞娇仙 ,  王守志 ,  胡小波 ,  徐现刚

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法，包括固定加热炉和括激光器、光束整形器、振镜系统和成像设备，固定加热炉用于固定、加热待剥离样品，激光器发出的激光依次经过光束整形器、振镜系统照射到待剥离样品上，待剥离样品反射的照明光成像至成像设备上，实现剥离过程的实时监察。本发明的装置固定加热炉用于控制剥离的温度，缓解由激光照射与非照射区域温差引起的应力，提高完整剥离整片GaN单晶衬底的良率，可通过调整激光能量、光斑直径、剥离温度、扫描速度与扫描路径等参数调整剥离工艺，通过显微成像系统实现剥离过程的实时观察，可随时反馈剥离情况，调整剥离工艺，实现完整GaN单晶衬底的剥离。

公开(公告)号：CN111755943A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010681980.1

申请日：2020-07-15

Applicant: 山东大学

Inventor： 杨克建 ,  郭磊 ,  聂鸿坤 ,  张百涛 ,  何京良

IPC: H01S3/108 ,  H01S3/115 ,  H01S3/117 ,  H01S3/0941

Abstract: 本发明公开了一种基于脉冲激光器泵浦的光学参量振荡器及工作方法，包括：依次设置的半导体泵浦源、耦合透镜、平面输入镜、激光晶体、电光调制单元、凹面输出镜、第一半波片、隔离器、第二半波片、凸透镜、OPO平面输入镜、PPLN晶体以及OPO平面输出镜；半导体泵浦源产生的泵浦光经过耦合透镜和平面输入镜聚焦到激光晶体上，输出激光经过电光调制单元产生脉冲激光，所述脉冲激光经过凹面输出镜输出，经过第一半波片、隔离器和第二半波片，使偏振方向与PPLN晶体达到最佳相位匹配；输出的偏振激光经过凸透镜进入PPLN晶体，在小于100℃的温度下产生3.8μm波段激光。本发明可以在室温下实现简并点波长输出。

公开(公告)号：CN109687266A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201811551993.6

申请日：2018-12-19

Applicant: 山东大学

Inventor： 张百涛 ,  聂鸿坤 ,  施炳楠 ,  杨克建 ,  何京良

IPC: H01S3/05 ,  H01S3/06 ,  H01S3/094 ,  H01S3/0941 ,  H01S3/16 ,  H01S3/115 ,  H01S3/117 ,  H01S3/11 ,  G02F1/11

Abstract: 本发明涉及一种高峰值功率2.79微米铒激光器，属于全固态激光器领域，包括激光泵浦源A、聚焦耦合系统A、激光晶体、调Q模块、谐振腔镜A和谐振腔镜B；激光泵浦源A发出的光经聚焦耦合系统A后入射到激光晶体上，谐振腔镜A、激光晶体、调Q模块和谐振腔镜B构成2.79μm波段铒激光谐振腔，产生的2.79μm波段中红外激光从谐振腔镜B端镜输出；激光晶体为Er3+、Pr3+共掺的激光晶体。本发明采用脉冲激光泵浦源端面泵浦结构，有效地克服了闪光灯泵浦激光重复频率低的问题，同时缓解了激光谐振腔的热效应，并通过谐振腔的合理设计实现良好的腔模匹配，获得高效率、高峰值功率、高光束质量的2.79μm铒激光输出。

公开(公告)号：CN104993360A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201510418350.4

申请日：2015-07-16

Applicant: 山东大学

Inventor： 宁建 ,  韩克祯 ,  王兆伟 ,  王祎然 ,  侯佳 ,  张百涛 ,  何京良

IPC: H01S3/042

Abstract: 基于碳化硅晶体的端面泵浦板条激光放大器晶体冷却模块，属板条激光放大器技术领域，包括碳化硅热沉1、板条激光晶体、碳化硅热沉2、绝热转接固定板；本发明采用热导率高并且热膨胀系数与增益介质非常接近的碳化硅晶体作为冷却热沉，晶体和热沉通过键合或光胶的方式结合，消除晶体在受热过程中因热应力产生的变形，将热应力对光学元件的危害降至最低，大大提高了板条激光放大器的提取效率，从而在较高的泵浦功率下获得大功率高光束质量的激光输出。

公开(公告)号：CN119115673A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411235220.2

申请日：2024-09-04

Applicant: 山东大学

Inventor： 张百涛 ,  梁润泽 ,  姚勇平 ,  王荣堃 ,  姚波 ,  夏金宝 ,  白蒙

IPC: B24B1/04 ,  B24B55/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了一种晶片拉伸剥离装置及方法，涉及半导体加工技术领域，所述装置包括相对设置的第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置，第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置均包括粘接圆盘工件和拉力臂，所述粘接圆盘工件用于实现晶片拉伸剥离，所述拉力臂用于调节第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置之间的相对距离；所述粘接圆盘工件包括恒温加热板和过渡板，所述恒温加热板内设置有升温降温装置，所述过渡板设置在恒温加热板外侧，用于与碳化硅晶锭接触，所述过渡板和碳化硅的热膨胀系数的差值，小于恒温加热板和碳化硅的热膨胀系数的差值；所述碳化硅晶锭在距碳化硅晶锭的第一端面的第一距离处具有改质层。本发明能够提高分片的良品率。

公开(公告)号：CN113628960B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202110855731.4

申请日：2021-07-28

Applicant: 山东大学

Inventor： 张雷 ,  刘磊 ,  张百涛 ,  王国栋 ,  叶帅 ,  何京良 ,  徐明升 ,  俞娇仙 ,  王守志 ,  胡小波 ,  徐现刚

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法，包括固定加热炉和括激光器、光束整形器、振镜系统和成像设备，固定加热炉用于固定、加热待剥离样品，激光器发出的激光依次经过光束整形器、振镜系统照射到待剥离样品上，待剥离样品反射的照明光成像至成像设备上，实现剥离过程的实时监察。本发明的装置固定加热炉用于控制剥离的温度，缓解由激光照射与非照射区域温差引起的应力，提高完整剥离整片GaN单晶衬底的良率，可通过调整激光能量、光斑直径、剥离温度、扫描速度与扫描路径等参数调整剥离工艺，通过显微成像系统实现剥离过程的实时观察，可随时反馈剥离情况，调整剥离工艺，实现完整GaN单晶衬底的剥离。

公开(公告)号：CN117564444A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311454365.7

申请日：2023-11-02

Applicant: 山东大学

Inventor： 张百涛 ,  姚勇平 ,  梁润泽 ,  聂鸿坤 ,  王荣堃 ,  夏金宝 ,  何京良 ,  徐现刚

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70 ,  B23K101/40

Abstract: 本发明提出了一种高效率碳化硅晶锭多物镜并行激光加工装置及方法，通过激光分束转移单元和激光加工头单元的设置，可在激光发生器的一次发射的基础上，实现多路子加工激光脉冲对碳化硅晶锭的扫描，通过二维运动系统的设置，可调整不同加工物镜所输出的子加工激光脉冲之间的位置关系，可实现对碳化硅晶锭扫描间距的调整，本发明单次扫描即可实现现有的单物镜加工过程多次扫描的效果，将扫描次数减少至单次，可在加工稳定性、剥离难度及质量不变的基础大大降低了加工耗时。