气氛检测装置的测试装置以及方法

    公开(公告)号:CN111983142A

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN202010735678.X

    申请日:2020-07-28

    Abstract: 本申请涉及一种气氛检测装置的测试装置以及方法。气氛检测装置的测试装置包括:腔体模块包括第一腔体;压强检测模块包括第一检测单元,第一检测单元用于测试第一腔体内的压强;真空模块包括第一真空单元,第一真空单元用于对第一腔体内进行抽真空至第一等效测试气压,以得到第一等效测试气体;管道模块包括第一管道单元,第一管道单元包括连接第一腔体的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件以及第四管道组件,第一管道组件用于向第一腔体内输入第一测试气体,第二管道组件连接第一检测单元,第三管道组件连接第一真空单元,第四管道组件用于向气氛检测装置输出第一腔体内的等效气体。本申请可以有效减少对气氛检测装置的测试时间及成本。

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