公开(公告)号：CN1460177A

公开(公告)日：2003-12-03

申请号：CN02800977.0

申请日：2002-02-12

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 榎本明夫 ,  宫下晃一

IPC: G01M3/20 ,  G01N15/08 ,  F01N3/00

CPC classification number: B01D46/442 ,  B01D46/0086 ,  B01D65/102 ,  B01D65/104 ,  B01D2273/18 ,  G01M3/20 ,  G01M3/38 ,  G01N15/0826 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/95692

Abstract: 一种检测缺陷的检查方法。在产生微粒子之后，将产生的上述微粒子导入上述被检测体内，其次，产生指向性很强的光使其通过上述被检测体的附近，上述光照射从被检测体排出的上述微粒子，使缺陷可视化。一种检测缺陷的检查装置包括：产生微粒子的微粒子发生装置；将上述微粒子导入被检测体内的微粒子导入装置；产生指向性很强的光，通过被检测体的附近，照射通过被检测体排出的微粒子，使上述微粒子可视化的光发生装置。若按照该检查方法和装置，能高灵敏度地检测出被检测体的缺陷，容易指出和记录缺陷的地点，检查时间短，检查前后的前处理及后处理的时间也短，甚至可以不要。