压电薄膜元件
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1170990A

    公开(公告)日:1998-01-21

    申请号:CN97113029.9

    申请日:1997-05-26

    CPC classification number: H01L41/0973 H01L41/047

    Abstract: 压电薄膜型元件包括接续地整体设在堆在陶瓷基片(12)上构成的压电工作层,一个单一的平薄膜型下电极(16),一压电层(18)和包括多个交替设置的条形电极(20a,20b)上的电极(20)。下电极(16)为第一电极,上电极(20)为第二电极。第一、二电极及压电层(18)构成第一压电工作装置,而第二电极及压电层(18)构成第二压电工作装置。上述压电工作层上没堆着其它的压电层。这样压电薄膜型元件可充分利用压电工作段的工作性能,作用好,尺寸紧凑及可在低电压下工作。

    蜂窝状构造体的制造方法及其制造装置

    公开(公告)号:CN101754838A

    公开(公告)日:2010-06-23

    申请号:CN200880025207.7

    申请日:2008-07-18

    CPC classification number: B28B11/006 B28B11/007 Y10T156/12

    Abstract: 一种具有孔眼密封部的蜂窝状构造体的制造方法及其制造装置,可缩短制造时间,从而可削减制造成本。在将蜂窝状构造体(1)定位于具有可插入蜂窝状构造体(1)端面部的贯通孔(11h)的台部(11)的状态下,将膜片(25)粘贴在蜂窝状构造体(1)的端面(8)上,并且做成膜片(25)的未粘贴在端面(8)上的剩余部分被粘贴在台部(11)上的状态,从而以平坦的状态保持膜片(25),通过在膜片(25)上形成与一部分网孔(3)的开口相对应的开口孔而将膜片(25)做成掩膜,利用孔眼密封材料供给装置(23)将具有流动性的孔眼密封材料(31)供给到该掩膜上或掩膜的同一平面上,然后利用孔眼密封装置(24)将孔眼密封材料(31)充填到蜂窝状构造体(1)的网孔(3)内。

    质量传感器和质量感测方法

    公开(公告)号:CN1250156A

    公开(公告)日:2000-04-12

    申请号:CN99122125.7

    申请日:1999-09-04

    CPC classification number: G01G3/13

    Abstract: 一种质量传感器包括:一个连接平板,其上具有一个或多个切口和/或开口区,和/或其上具有薄壁区域和厚壁区域;一个膜片,在侧面与连接平板彼此相连;一个压电元件;一个传感平板,在传感平板的至少一个表面上的至少一部分上提供有压电元件,在与膜片和连接平板的连接方向垂直的方向上传感平板的侧面与连接平板的相对方彼此相连;和一个传感器基片,与连接平板以及传感平板的侧面的至少一部分相连;并且膜片、连接平板、传感平板和压电元件形成谐振区。这种质量传感器适宜用于通过测量其上施加有只与被测目标(被测物质)发生反应的用于吸收被测物质的吸收物的膜片的质量变化引起的谐振频率的变化来确定物质的质量。

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