用于处理工件的处理设备和方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111356889A

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201880070971.X

    申请日:2018-10-30

    Abstract: 为了提供一种构造简单并且能够有效密封处理腔(104)的处理设备(100)提出了,处理设备(100)包括:用于容置待处理的工件(102)的处理腔(104);运输装置(110),待处理的工件(102)能借助所述运输装置被运输穿过所述处理腔(104);其中所述运输装置(110)包括引导装置(114),所述引导装置布置在所述处理腔(104)之外;其中所述运输装置(110)包括用于接纳所述工件(102)的多个接纳元件(124),其中所述接纳元件(124)以能移动的方式布置在所述引导装置(114)处,并且所述接纳元件穿过在包围所述处理腔(100)的壁(128)中的开口(126)延伸到所述处理腔(104)中。

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