公开(公告)号：CN103477459B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201280018994.9

申请日：2012-03-30

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 鲛岛幸一 ,  东野楠

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/08

CPC classification number: B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/047 ,  H01L41/08 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/29 ,  H01L41/332

Abstract: 使配置于基板（11）中所形成的压力室（21）的振动板（12）朝向压力室（21）振动的压电致动器（1）具备在振动板（12）上依次层叠的下电极（13）、压电体（14）以及上电极（15），在压力室（21）的侧壁上方的压电体（14）上的一部分形成有从压力室（21）上方的上电极（15）引出的上电极引出部（15a），在上电极引出部（15a）的下方，压电体（14）由基板（11）中的压力室（21）的侧壁（21a）与压力室（21）的边界面上方的空隙部（S）切断。